Tubo di ossidazione SIC

Il tubo di ossidazione SIC Semicorex è costruito con ceramica in carburo di silicio di alta purezza progettata per i processi di ossidazione, diffusione o ricottura tipicamente eseguiti a 1600 ° C. Come parte di un forno SIC, orizzontale o verticale, questo è l'ambiente controllato in cui i wafer sono riscaldati mentre ossidano. La funzione del tubo di ossidazione è quella di fornire un ambiente pulito, uniforme e stabile per il trattamento termico dei wafer di carburo di silicio (SIC) nella fabbricazione di dispositivi di alimentazione e semiconduttori a banda larga, come apertura del potenziale processo di ossidazione costante, il tubo di ossidazione agisce come un primo utilizzo di consumo per il primo utilizzo. Mentre i tubi di quarzo e allumina si trovano spesso a rompersi nel tempo attraverso la devitrificazione, la deformazione o la rottura chimica, il carburo di silicio ha un'eccezionale durata contro le sfide degli shock termici, il miglioramento della proprietà meccanica e l'inertezza chimica. Questi fattori producono il carburo di silicio come un'ottima opzione per i tubi di ossidazione in ambienti ad alta affidabilità, ad alto rendimento.

Utilizzando forme avanzate di formazione come pressatura isostatica fredda e sinterizzazione senza pressioni (o ricristallizzazione), Semicorex produce tubi di ossidazione SIC che hanno una microstruttura densa, asiposa e omogenea. Ciò fornisce forza senza il rischio di porosità, consentendo al processo di ossidazione di procedere senza contaminazione. La SIC ha una conduttività termica molto elevata, consentendo una distribuzione termica uniforme alla zona di carico del wafer e riducendo quindi gradienti termici che possono causare wafer o difetti deformati. La resistenza del tubo ad acidi, basi e gas reattivi impedisce anche interazioni chimiche indesiderate con la superficie del wafer e attraverso l'ambiente del forno.

Non si insinua, non si deforma. Il tubo non deve essere sostituito dopo diversi cicli di produzione: si tratta di ambienti di ciclismo termico a lungo termine che altrimenti distruggerebbero materiali minori. Pertanto, nessuna interruzione ad alta frequenza significano bassi costi operativi e ciò mantiene il flusso di processo senza interruzioni. Ciò riduce anche i rischi di contaminazione che possono facilmente ridurre le prestazioni di rendimento nei dispositivi a semiconduttore di prossima generazione in cui le impurità di traccia svolgono un ruolo critico. Semicorex produce dimensioni del tubo standard e completamente personalizzate per qualsiasi piattaforma e ricetta del forno utilizzate. Diametro interno ed esterno, lunghezza, spessore della parete e finitura superficiale sono tutti parametri che possono richiedere una regolazione per soddisfare le diverse esigenze termiche e meccaniche specifiche; Dalle forni R&S su scala di laboratorio fino a grandi linee di produzione, in ogni caso in cui il tubo necessita di lavorazione, pulizia e ispezione per garantire prestazioni.

Il controllo di qualità inizia con controlli dimensionali, test di densità del materiale e validazione dell'affidabilità del ciclo termico per ogni singolo tubo di ossidazione SIC. Un sistema di tracciabilità del materiale forte registra il prodotto dalla sua fase di polvere cruda fino all'ispezione finale. Questo tipo di qualità offre ai clienti una mano ferma nella stabilità a lungo termine e nella riproducibilità dei nostri tubi di ossidazione SIC.

Scegli Semicorex e ottieni un partner in un fornitore che combina ingegneria ceramica avanzata con un ampio controllo di processo e supporto tecnico reattivo lavorando insieme fin dall'inizio. Impariamo il tuo ambiente specifico per il forno, i requisiti di processo e le sfide di integrazione in modo da poter offrirti soluzioni personalizzate per migliorare i risultati del processo e il tempo di attività degli strumenti.

Il tubo di ossidazione SIC Semicorex offre le migliori prestazioni termiche possibili con stabilità chimica e resistenza meccanica. Diventa il cuore di qualsiasi sistema di elaborazione SIC ad alta temperatura fornendo un ambiente termico uniforme durante l'ossidazione e la ricottura dei materiali a semiconduttore avanzato. Per i produttori che richiedono che i componenti del forno siano affidabili, puliti e di lunga durata, Semicorex sarà una scelta del prodotto supportata dalla conoscenza e dall'esperienza, nonché uno standard di fornitura di nulla di meglio.