Anelli di messa a fuoco SiC

Gli anelli di messa a fuoco SiC Semicorex avanzati e ad alta purezza sono costruiti per resistere agli ambienti estremi nelle camere di incisione al plasma (o incisione a secco). Ci concentriamo sulle industrie dei semiconduttori come strati di carburo di silicio e semiconduttori epitassia. I nostri prodotti hanno un buon vantaggio di prezzo e coprono molti dei mercati europei e americani. Non vediamo l'ora di diventare il vostro partner a lungo termine in Cina.

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Descrizione del prodotto

Semicorex fornisce SiC Focus Rings è davvero stabile per RTA, RTP o pulizia chimica aggressiva. Gli anelli di messa a fuoco SiC o anelli di bordo sono progettati per migliorare l'uniformità dell'incisione attorno al bordo o al perimetro del wafer. Riduci al minimo la contaminazione e la manutenzione non programmata con componenti ad alta purezza progettati per i rigori dell'incisione al plasma. I nostri anelli di messa a fuoco SiC con rivestimento SiC sono un rivestimento in carburo di silicio (SiC) denso e resistente all'usura. Ha elevate proprietà di resistenza alla corrosione e al calore, nonché un'eccellente conduttività termica. Applichiamo SiC in strati sottili sulla grafite utilizzando il processo di deposizione chimica da vapore (CVD).

Parametri degli anelli di messa a fuoco SiC

Principali caratteristiche del rivestimento CVD-SIC
Proprietà SiC-CVD
Struttura di cristallo	FCC fase β
Densità	g/cm³	3.21
Durezza	Durezza Vickers	2500
Granulometria	Î¼m	2~10
Purezza chimica	%	99.99995
Capacità termica	J·kg-1 ·K-1	640
Temperatura di sublimazione	℃	2700
Resistenza alla flessione	MPa (RT 4 punti)	415
Modulo di Young	Gpa (curva 4pt, 1300℃)	430
Espansione termica (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Conduttività termica	(W/mK)	300

Caratteristiche degli anelli di messa a fuoco SiC

- Rivestimenti in carburo di silicio CVD per migliorare la durata.

- Isolamento termico in carbonio rigido purificato ad alte prestazioni.

- Riscaldatore e piastra in composito di carbonio/carbonio.- Sia il substrato di grafite che lo strato di carburo di silicio hanno un'elevata conducibilità termica ed eccellenti proprietà di distribuzione del calore.

- Grafite ad alta purezza e rivestimento SiC per resistenza ai fori stenopeici e maggiore durata