Anelli di messa a fuoco SiC

Gli anelli di messa a fuoco SiC avanzati e di elevata purezza Semicorex sono costruiti per resistere agli ambienti estremi nelle camere di attacco al plasma (o attacco a secco). Ci concentriamo sulle industrie dei semiconduttori come strati di carburo di silicio e semiconduttori epitassia. I nostri prodotti hanno un buon vantaggio di prezzo e coprono molti mercati europei e americani. Non vediamo l'ora di diventare il vostro partner a lungo termine in Cina.

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Descrizione del prodotto

Semicorex fornisce anelli di messa a fuoco SiC davvero stabili per RTA, RTP o pulizia chimica aggressiva. Gli anelli di messa a fuoco o gli anelli di bordo SiC sono progettati per migliorare l'uniformità di incisione attorno al bordo o al perimetro del wafer. Riduci al minimo la contaminazione e la manutenzione non programmata con componenti di elevata purezza progettati per i rigori della lavorazione di incisione al plasma. I nostri anelli di messa a fuoco SiC con rivestimento SiC sono un rivestimento in carburo di silicio (SiC) denso e resistente all'usura. Ha elevate proprietà di resistenza alla corrosione e al calore, nonché un'eccellente conduttività termica. Applichiamo SiC in strati sottili sulla grafite utilizzando il processo di deposizione chimica in fase vapore (CVD).

Parametri degli anelli di messa a fuoco SiC

Specifiche principali del rivestimento CVD-SIC
Proprietà SiC-CVD
Struttura cristallina	Fase β dell'FCC
Densità	g/cm³	3.21
Durezza	Durezza Vickers	2500
Granulometria	µm	2~10
Purezza chimica	%	99.99995
Capacità termica	J kg-1 K-1	640
Temperatura di sublimazione	℃	2700
Forza flessionale	MPa (RT 4 punti)	415
Modulo di Young	Gpa (curvatura 4 punti, 1300 ℃)	430
Dilatazione Termica (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Conduttività termica	(W/mK)	300

Caratteristiche degli anelli di messa a fuoco SiC

- Rivestimenti in carburo di silicio CVD per migliorare la durata.

- Isolamento termico in carbonio rigido purificato ad alte prestazioni.

- Riscaldatore e piastra in composito carbonio/carbonio. - Sia il substrato di grafite che lo strato di carburo di silicio hanno un'elevata conduttività termica ed eccellenti proprietà di distribuzione del calore.

- Rivestimento in grafite e SiC di elevata purezza per resistenza ai fori stenopeici e maggiore durata