Mandrini a vuoto in ceramica SiC

I microfori progettati con precisione sono distribuiti uniformemente sulla superficie dei mandrini a vuoto in ceramica SiC, consentendo un collegamento affidabile all'attrezzatura per il vuoto esterna. Durante il funzionamento, la pompa a vuoto viene attivata per aspirare aria attraverso i fori, creando un ambiente a pressione negativa tra il wafer semiconduttore e il mandrino a vuoto. Ciò consente quindi al wafer di essere trattenuto uniformemente e saldamente sulla superficie del mandrino a vuoto.

I vantaggi dei mandrini a vuoto ceramici Semicorex SiC

1.Selezione del materiale premium

SemicorexMandrini a vuoto in ceramica SiCselezionare attentamente il carburo di silicio ad alta purezza come materia prima. Il rigoroso controllo di Semicorex sulla purezza dei materiali previene efficacemente la contaminazione dei wafer causata da impurità durante il funzionamento, soddisfacendo così le crescenti richieste di pulizia e resa della produzione.

2.Precisione di lavorazione fine

La superficie dei mandrini a vuoto in ceramica Semicorex SiC è sottoposta a lucidatura a specchio e la loro planarità è controllata a 0,3–0,5 μm. Questo controllo estremo della planarità può consentire un effetto di contatto ottimale, che riduce notevolmente il rischio di graffi sui wafer causati da superfici di contatto ruvide. Ogni microforo e scanalatura nei mandrini a vuoto sono lavorati con precisione, fornendo così un effetto di assorbimento stabile e uniforme durante il funzionamento.

3. Servizi di personalizzazione flessibili

Semicorex fornisce ai nostri stimati clienti servizi di personalizzazione, offrendo varie opzioni di dimensioni di mandrini a vuoto in ceramica SiC, come 6 pollici, 8 pollici, 12 pollici. Siamo in grado di personalizzare tolleranze dimensionali, dimensione dei pori, planarità e ruvidità per soddisfare le esigenze dei clienti, garantendo un abbinamento perfetto con le vostre apparecchiature di lavorazione e ispezione dei semiconduttori.

4. Eccellente durata e durata

SemicorexCeramica SiCi mandrini a vuoto sono formati mediante pressatura isostatica e poi sinterizzati ad alta temperatura. Dopo questa tecnologia di processi speciali, i mandrini a vuoto ceramici Semicorex SiC possiedono molteplici prestazioni eccellenti, come leggerezza, elevata rigidità, forte resistenza all'usura e basso coefficiente di dilatazione termica. Queste proprietà consentono ai mandrini a vuoto ceramici Semicorex SiC di essere costantemente utilizzati nelle condizioni difficili nella movimentazione e lavorazione dei wafer semiconduttori.