Palette a sbalzo in ceramica SIC

SemicorexPalette a sbalzo in ceramica SICsono componenti cruciali per lo spostamento dei portawafer dentro e fuori dai forni. Sono ampiamente utilizzati nelle apparecchiature di trattamento termico come i forni di ossidazione, diffusione e LPCVD (deposizione chimica da vapore a bassa pressione) nella produzione fotovoltaica e di semiconduttori.

Grazie all'eccellente resistenza meccanica, stabilità termica, resistenza alle alte temperature, resistenza all'ossidazione, resistenza allo shock termico e resistenza alla corrosione chimica del carburo di silicio legato per reazione (RBSIC), è adatto per la produzione di pale a sbalzo in carburo di silicio di grandi dimensioni.

SemicorexCeramica SICle pale a sbalzo derivano la loro elevata capacità di carico dalla resistenza meccanica intrinseca e dalla rigidità del materiale di alta qualità in carburo di silicio legato per reazione (RBSiC). In grado di sostenere il carico pesante dei wafer di silicio, queste pale ottimizzano la produttività per i singoli cicli di diffusione e contribuiscono al miglioramento dell'efficienza produttiva.

Le proprietà superiori del materiale del carburo di silicio legato per reazione consentono alle pale a sbalzo in ceramica SIC di avere un'eccellente stabilità in ambienti operativi ad alta temperatura, garantendo la concentricità del wafer di silicio e del tubo del forno, rendendo processi come diffusione e passivazione più uniformi. Questa stabilità evita efficacemente la deformazione o il danneggiamento della pala a sbalzo in carburo di silicio causati da alte temperature e carichi pesanti, riducendo il rischio di danni ai wafer di silicio o guasti alle apparecchiature.

Le pale a sbalzo in ceramica Semicorex SiC utilizzano il processo di stampa 3D a pezzo singolo, che è determinante nel mantenere l'accuratezza dimensionale e la coerenza della forma dei componenti. Questo design delle pale a sbalzo in ceramica SiC garantisce inoltre una perfetta compatibilità con i sistemi di forni a diffusione. La loro robusta struttura a sbalzo consente trasferimenti fluidi e privi di vibrazioni, riducendo al minimo la possibilità di rottura o deviazione del wafer durante il carico e lo scarico.

La qualità è una priorità assoluta per Semicorex. Tutte le pale a sbalzo finite in carburo di silicio devono essere sottoposte a molteplici procedure di test, inclusi controlli di precisione dimensionale e valutazioni delle proprietà dei materiali, per garantirne la qualità superiore. Se avete esigenze di acquisto non esitate a contattarci.