Paletta a sbalzo in ceramica SiC

La pala a sbalzo in ceramica SiC in carburo di silicio con grande forza di caricamento del wafer è adatta per un sistema di caricamento e movimentazione automatico del robot perché ha prestazioni stabili, non deformazione alle alte temperature e una grande forza di caricamento del wafer. Semicorex si impegna a fornire prodotti di qualità a prezzi competitivi, non vediamo l'ora di diventare il vostro partner a lungo termine in Cina.

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Descrizione del prodotto

Poiché la sezione della pala a sbalzo è stabile senza deformazioni, è possibile realizzare wafer di dimensioni maggiori utilizzando i tubi del forno esistenti. La pala a sbalzo in ceramica SiC può essere applicata all'LPCVD sulla base del suo coefficiente di espansione termica simile con il rivestimento LPCVD, che prolunga notevolmente il ciclo di manutenzione e pulizia e riduce significativamente gli inquinanti.

Possiamo produrre il prodotto in base ai vostri disegni e all'ambiente di lavoro.

Caratteristiche:

Grande carico

Bassa conduttività termica

Resistenza alle alte temperature