Barche ceramiche sic

Le barche in ceramica SIC Semicorex sono vettori all'avanguardia appositamente progettati per trasportare, immagazzinare e elaborare i wafer a semiconduttori in sicurezza negli ambienti più impegnativi e termicamente estremi. L'industria dei semiconduttori ha rapidamente adottato nuovi standard di performance che hanno richiesto alle barche ceramiche SIC di raggiungere le esigenze intolleranti e critiche e critiche per i moderni processi di fabbricazione del wafer.

Forte stabilità termica e forza

L'attributo distintivo delle barche ceramiche SIC è la sua stabilità termica molto alta. Le barche ceramiche SIC possono sopportare una temperatura superiore a 1600 ° C senza perdere la forma o la struttura durante i processi di ciclismo termico aggressivo. A causa del coefficiente di espansione termica ultra-bassa, le barche ceramiche SIC sono meno inclini alla distorsione e alle cracking, consentendo tolleranze strette e sicurezza complessiva del wafer durante la maneggevolezza in condizioni rigide.

Elevata purezza e resistenza chimica

Le barche in ceramica SIC sono fabbricate con carburo di silicio a puro altissima purezza. Le barche ceramiche SIC sono anche altamente resistenti al plasma di degrado chimico, corrosivo ed erodi. La natura inerte delle barche ceramiche SIC significa processi di gas corrosivi, ambienti reattivi, condizioni acide non costituirebbero alcuna contaminazione dalla barca o nulla di solubile per danneggiare il processo di lavoro. La superficie non contaminata delle barche ceramiche SIC non consente la generazione di particelle o la lisciviazione ionica, quindi una superficie di wafer non è messa a repentaglio da impurità che ostacolano le prestazioni o la resa del dispositivo.

Ingegneria di precisione per una gestione dei wafer sicura e sicura

Le barche in ceramica SIC sono prodotte all'interno di tolleranze strette, consentendo loro di gestire wafer di vari diametri, tra cui 100 mm, 150 mm, 200 mm, 300 mm e più. La progettazione strutturale delle barche SIC fornisce un'eccellente planarità, parallelismo e dimensioni di slot uniformi per mantenere un adeguato orientamento a lapping del wafer e proteggere i bordi del wafer durante il trasferimento in un altro processo o strumento. Tutte le barche SIC possono essere progettate con dimensioni personalizzate per abbinare il set di strumenti o soddisfare eventuali specifiche di automazione.

Lunga durata e più costi efficienti

SIC sostituisce i materiali tradizionali (quarzo, allumina) con resistenza meccanica significativamente migliorata, resistenza alla frattura e resistenza alle shock termiche. Questo livello di durata si traduce in una durata più lunga prima del "fallimento", significativamente meno sostituti durante il funzionamento e un minor costo totale di proprietà. La coerenza nelle prestazioni dalla durata di SIC ridurrà i tempi di inattività e accelererà la produzione su linee di produzione di semiconduttori.

Apri applicazioni nei processi di semiconduttore

Le barche in ceramica SIC sono ampiamente utilizzate nei processi di semiconduttore di front-end come:

Deposizione LPCVD e PECVD

Ossidazione termica

Impianto ionico

Ricottura e diffusione

Pulizia del wafer e lavorazione chimica

Le maniglie in ceramica SIC hanno applicazioni di elaborazione compatibili nelle camere di processo di processo e sotto vuoto, rendendola una scelta ideale per le fonderie e i Fab che desiderano ridurre al minimo e ridurre il rischio di contaminazione migliorando al contempo la produttività.