SIC Cantilever Paddles

Le pagaie per cantilever SIC Semicorex sono componenti ad alte prestazioni progettate con precisione per la manipolazione dei wafer e il trasporto di wafer nelle apparecchiature di lavorazione termica a semiconduttore (LPCVD, PECVD, ossidazione e forni di diffusione). Queste pagaie a sbalzo forniscono una piattaforma per i wafer e una forma di supporto necessaria che garantisce un trasporto stabile e affidabile di fragili wafer attraverso processi aggressivi ad alta temperatura (spesso superiori a 1200 ° C). Le pagaie a sbalzo sono prodotte con carburo di silicio ad alta purezza (SIC) che fornisce durata meccanica, stabilità termica e proprietà anticorrosive per l'ambiente di fabbricazione di semiconduttori.

Il carburo di silicio è un materiale ceramico super premium con eccellente conducibilità termica, bassa espansione termica e capacità di eseguire in modo affidabile in ambienti chimicamente ostili. Il carburo di silicio nelle pagaie a sbalzo può aiutare a ridurre la deformazione termica

 e movimento che mantiene i wafer piatti e nella loro posizione di lavorazione nominale. La stabilità termica del wafer nel contesto delle pagaie a sbalzo è importante per ridurre al minimo i problemi di contaminazione da particelle e movimento meccanico, specialmente quando si produce dispositivi di nodo avanzati. Questi problemi possono comportare una perdita di rendimento o costose rielaborazioni e sostituzione dei wafer.

La forma monolitica delle palette SiC a sbalzo migliora la robustezza meccanica e l'uniformità termica eliminando mentre si eliminano giunti e punti deboli che possono in genere esistere nei compositi. Inoltre, la finitura superficiale delle pagaie è specificamente controllata e generalmente lucidata a una qualità da specchio quasi per ridurre al minimo la generazione di particolato ed è conforme alla classe molto pulita.

Nei processi di diffusione e ossidazione che coinvolgono ossigeno, vapore e altri gas reattivi; I materiali convenzionali possono crollare o deformarsi nel tempo. La proprietà inerte chimica intrinseca di SIC garantisce che le pagaie non abbiano o corrode e introducono la contaminazione al processo a causa dell'uso di materiali instabili, contribuendo a un processo più stabile e risultati affidabili.  L'integrità strutturale delle pagaie SIC a sballo rimane stabile nonostante il rapido ciclo di riscaldamento e raffreddamento. Pertanto, offrono una lunga durata operativa con tempi di inattività di manutenzione o sostituzione in parte notevolmente ridotti.

Inoltre, la massa ridotta e il peso leggero delle pagaie SIC consentono una risposta termica più rapida; Consentendo così a un aumento termico più rapido e tempi di raffreddamento che contribuiscono ad una maggiore produttività ed efficienza energetica, tutte le principali metriche nel panorama competitivo della produzione di semiconduttori.

Le pagaie SIC a sballo possono essere fornite in una varietà di configurazioni e dimensioni, progettate e fabbricate per ospitare vari design del forno e dimensioni di wafer che vanno da 100 mm a 300 mm e più grandi. Gli integratori di OEM e apparecchiature apprezzano la coerenza e l'affidabilità delle palette SIC nel tempo, per le distribuzioni sia nei processi front-end che back-end.

Semicorex offre palette premium SIC a sbalzo con controllo stretto sulla purezza del materiale, la microstruttura e le tolleranze dimensionali. Le nostre capacità di processo avanzate, unite alla nostra conoscenza delle dinamiche termiche a semiconduttore, ci consentono di produrre palette con questi attributi che soddisfano o superano gli standard del settore per stabilità, pulizia e durata. Quando deve essere giusto e affidabile, Semicorex è il posto dove andare per componenti SIC di qualità.