Barca SiC

Le barche Semicorex SiC sono realizzate meticolosamente in ceramica SiC di elevata purezza, un materiale celebre per la sua stabilità termica senza pari, eccezionale resistenza meccanica e incrollabile inerzia chimica. Queste qualità lo rendono la scelta perfetta per le rigorose condizioni di fabbricazione dei semiconduttori.

Le SiC Boats vantano una resistenza meccanica e una durata senza pari, grazie alla durezza del materiale e all'eccezionale resistenza all'usura. Ciò consente loro di sopportare la natura impegnativa degli ambienti di produzione di semiconduttori ad alto rendimento senza soccombere all'usura graduale. A differenza di altri materiali, il SiC mantiene la sua integrità strutturale nel tempo, riducendo significativamente la necessità di sostituzioni frequenti e minimizzando i tempi di fermo nelle operazioni di produzione, portando in definitiva a sostanziali risparmi sui costi per i produttori di semiconduttori.

L'inerzia chimica del SiC consolida ulteriormente la sua idoneità ai processi dei semiconduttori rendendolo altamente resistente agli attacchi chimici da parte di gas reattivi e materiali comunemente utilizzati come cloro e fluoro. Questa robusta resistenza garantisce che le imbarcazioni SiC non contaminino i wafer durante la lavorazione, preservando così la purezza e la qualità dei dispositivi semiconduttori fabbricati. Per i processi che richiedono un livello ancora più elevato di resistenza chimica, le barche SiC possono essere rivestite con uno strato aggiuntivo di SiC, fornendo una barriera aggiuntiva contro gli attacchi chimici e migliorando la finitura superficiale della barca per ridurre il rischio di contaminazione da particolato.

L'elevata purezza della ceramica SiC utilizzata in queste imbarcazioni è fondamentale, poiché la produzione di semiconduttori richiede materiali con impurità minime. Anche tracce di contaminanti possono compromettere le proprietà elettriche dei wafer e provocare difetti nei dispositivi finali. Le barche SiC sono progettate con ceramica SiC di altissima purezza per garantire che non introducano impurità nell'ambiente di processo, anche nelle temperature elevate e nelle condizioni reattive tipiche della fabbricazione di semiconduttori. Questa purezza consolida l'affidabilità delle barche SiC per le fasi critiche del processo.

La compatibilità delle barche SiC con varie apparecchiature a semiconduttore è fondamentale. La versatilità del SiC consente di lavorarlo con precisione per adattarsi alle dimensioni e alle configurazioni specifiche richieste da diversi tipi di forni e reattori per semiconduttori, rendendoli adatti a un'ampia gamma di applicazioni, dalle operazioni di ricerca e sviluppo su piccola scala alle linee di produzione su larga scala. Inoltre, le eccezionali proprietà di conduttività termica e dissipazione del calore del materiale contribuiscono a un controllo più efficiente della temperatura durante la lavorazione, migliorando ulteriormente le prestazioni e la resa dei dispositivi a semiconduttore.