Titoli di barche SIC

I supporti per barche a semicorex sono dispositivi di supporto di precisione progettati per contenere le barche di wafer durante i processi ad alta temperatura nella fabbricazione di semiconduttori. Realizzati in carburo di silicio di alta purezza (SIC), questi supporti presentano un'eccellente stabilità termica, resistenza chimica e rigidità meccanica, caratteristiche essenziali se utilizzati in processi come diffusione, ossidazione e crescita epitassiale.

In esigenze di ambienti di fabbricazione di semiconduttori, è cruciale proteggere l'integrità del wafer e ridurre al minimo la contaminazione. I titolari di barche SIC offrono una piattaforma solida e inerta in grado di tollerare ambienti di fornace estremi mantenendo l'integrità senza deformazione e senza rilascio di contaminanti. La loro inerzia chimica consente il loro utilizzo con i gas di processo reattivi, mentre la loro trasmittanza termica promuove anche il riscaldamento della superficie dei wafer per l'elaborazione costante.

Ogni supporto per barche SIC è prodotto con un'alta tolleranza per la precisione dimensionale, rendendoli facili da accogliere e adattarsi a qualsiasi tipo di barca di wafer e configurazioni di carico automatizzate. La loro struttura rigida non solo crea un supporto forte, stabile e adeguato per le barche del wafer, ma riduce anche le micro-vibrazioni o i turni posizionali possono avere sui wafer. Inoltre, il carburo di silicio ha un'eccellente resistenza all'usura e può gestire il ciclo di calore ripetuto per fornire una lunga durata con un piccolo tempo di inattività e una sostituzione delle parti della fiala.

Gli attributi unici del carburo di silicio possono offrire ulteriori vantaggi in merito alla pulizia del processo. A differenza dei metalli o dei materiali in ceramica di grado inferiore, SIC non si infila, si degradano chimicamente a temperature estreme o nel plasma. Ciò rende i possessori di barche SIC un ottimo strumento per i produttori che cercano di limitare la contaminazione delle camere pulite per i nodi a semiconduttore avanzati che richiedono una resa e purezza elevate.

I titolari di barche SIC Semicorex sono prodotti utilizzando processi di modanatura e sinterizzazione unici che garantiscono una microstruttura uniforme e prestazioni meccaniche tra lotti e attraverso più titolari di barche. Ad esempio, è possibile personalizzare la forma del supporto o la configurazione di slot, nonché il tipo di montaggio.

Sia utilizzati in forni verticali o reattori orizzontali, la personalizzazione dei portabicchieri SIC Semicorex incontrerà le tolleranze per la manufactruring dei semiconduttori di prossima generazione. Se scegli i prodotti Semicorex, saprai che hai lavorato con un fornitore che è ben informato, dedicato all'eccellenza materiale e si impegna a innovare continuamente componenti ceramiche rispetto all'affidabilità e alla consegna.