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Barca SiC per la movimentazione dei wafer

Realizzata in carburo di silicio di eccezionale purezza, la Semicorex SiC Boat for Wafer Handling vanta una struttura che include slot di precisione per fissare i wafer, attenuando qualsiasi movimento durante le procedure operative. La scelta del carburo di silicio come materiale garantisce non solo durezza e resilienza, ma anche la capacità di resistere a temperature elevate e all'esposizione a sostanze chimiche. Ciò rende la SiC Boat for Wafer Handling un componente fondamentale in una moltitudine di fasi di produzione dei semiconduttori, come la coltivazione dei cristalli, la diffusione, l'impianto di ioni e i processi di incisione.

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Descrizione del prodotto

Caratterizzata dal rapporto impareggiabile tra resistenza e peso e dalle proprietà di conduttività termica superiori, la barca SiC Semicorex per la movimentazione dei wafer è sottoposta a un ulteriore processo di miglioramento attraverso un rivestimento SiC CVD. Questo strato di rivestimento aggiuntivo ne amplifica la resistenza ai rigori degli ambienti di lavorazione e lo protegge sia dalla degradazione chimica che dalle fluttuazioni termiche, estendendone significativamente la durata operativa e garantendo prestazioni costanti in condizioni operative rigorose.

Nelle operazioni termiche come la ricottura o la diffusione, la SiC Boat for Wafer Handling è determinante per ottenere una distribuzione uniforme della temperatura sulla superficie del wafer. La sua eccellente conduttività termica facilita un'efficace dispersione del calore, riducendo le disparità termiche e promuovendo l'uniformità nei risultati del processo.

La barca SiC Semicorex per la movimentazione dei wafer è apprezzata per la sua affidabilità e prestazioni eccezionali, soddisfacendo i rigorosi requisiti della produzione contemporanea di semiconduttori. Grazie alla sua adattabilità ai processi batch e ai singoli wafer, la SiC Boat for Wafer Handling si pone come uno strumento essenziale per gli impianti di produzione di semiconduttori dedicati al raggiungimento di standard di prodotto superiori e rendimenti massimizzati. Il ruolo della SiC Boat for Wafer Handling è fondamentale nel sostenere entrambi l'integrità e l'affidabilità dei wafer, trovando ampia applicazione nelle apparecchiature di produzione di semiconduttori, nei dispositivi industriali e come parti di ricambio.