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Mandrino per wafer a semiconduttore

I componenti avanzati e di elevata purezza Semicorex rivestiti in carburo di silicio sono costruiti per resistere agli ambienti estremi nel processo di gestione dei wafer. Il nostro Wafer Chuck per semiconduttori ha un buon vantaggio in termini di prezzo e copre molti mercati europei e americani. Non vediamo l'ora di diventare il vostro partner a lungo termine in Cina.

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Descrizione del prodotto

Il mandrino per wafer a semiconduttore ultrapiatto Semicorex è rivestito in SiC ad alta purezza utilizzato nel processo di gestione dei wafer. Mandrino per wafer a semiconduttore dell'attrezzatura MOCVD La crescita del composto ha un'elevata resistenza al calore e alla corrosione, che ha una grande stabilità in ambienti estremi e migliora la gestione della resa per la lavorazione dei wafer a semiconduttore. Le configurazioni a basso contatto superficiale riducono al minimo il rischio di particelle sul lato posteriore per applicazioni sensibili.

Parametri del mandrino per wafer a semiconduttore

Specifiche principali del rivestimento CVD-SIC
Proprietà SiC-CVD
Struttura cristallina	Fase β dell'FCC
Densità	g/cm³	3.21
Durezza	Durezza Vickers	2500
Granulometria	µm	2~10
Purezza chimica	%	99.99995
Capacità termica	J kg-1 K-1	640
Temperatura di sublimazione	℃	2700
Forza flessionale	MPa (RT 4 punti)	415
Modulo di Young	Gpa (curvatura 4 punti, 1300 ℃)	430
Dilatazione Termica (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Conduttività termica	(W/mK)	300