Mandrino per wafer a semiconduttore

I componenti semicorex avanzati rivestiti in carburo di silicio di elevata purezza sono costruiti per resistere agli ambienti estremi nel processo di manipolazione dei wafer. Il nostro Semiconductor Wafer Chuck ha un buon vantaggio di prezzo e copre molti dei mercati europei e americani. Non vediamo l'ora di diventare il vostro partner a lungo termine in Cina.

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Descrizione del prodotto

Semicorex Semiconductor Wafer Chuck ultrapiatto è rivestito in SiC ad alta purezza utilizzando nel processo di manipolazione dei wafer. Semiconductor Wafer Chuck di attrezzature MOCVD La crescita del composto ha un'elevata resistenza al calore e alla corrosione, che ha una grande stabilità in ambienti estremi e migliora la gestione della resa per l'elaborazione di wafer a semiconduttore. Le configurazioni a bassa superficie di contatto riducono al minimo il rischio di particelle sul retro per applicazioni sensibili.

Parametri di Semiconductor Wafer Chuck

Principali caratteristiche del rivestimento CVD-SIC
Proprietà SiC-CVD
Struttura di cristallo	FCC fase β
Densità	g/cm³	3.21
Durezza	Durezza Vickers	2500
Granulometria	Î¼m	2~10
Purezza chimica	%	99.99995
Capacità termica	J·kg-1 ·K-1	640
Temperatura di sublimazione	℃	2700
Resistenza alla flessione	MPa (RT 4 punti)	415
Modulo di Young	Gpa (curva 4pt, 1300℃)	430
Espansione termica (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Conduttività termica	(W/mK)	300