Piatto SIC poroso

La piastra SIC porosa Semicorex è un materiale in ceramica ad alte prestazioni progettato per applicazioni avanzate di semiconduttore e precisione. Ingegnerizzato con una struttura porosa finemente controllata, questa piastra offre un'eccezionale resistenza meccanica, stabilità termica e resistenza chimica, rendendola una scelta ideale per l'uso come aChuck sotto vuotonell'elaborazione dei semiconduttori.

Elaborata mediante sinterizzazione di precisione e formazione dei pori, la piastra SIC porosa ha una porosità uniforme e una permeabilità all'aria ottimizzata garantendo quindi un adsorbimento sicuro e stabile di wafer sottili, pannelli di vetro e altri delicati substrati. La distribuzione delle dimensioni dei pori attentamente controllata consentirà un'efficace aspirazione del vuoto tenendo insieme i suoi componenti strutturali fino all'ultimo atomo, prevenendo praticamente la deformazione o il danno per il materiale inteso per l'ulteriore elaborazione: i wafer.

La sua eccellente conduttività termica rende la piastra SIC porosa uno dei migliori candidati per una rapida dissipazione del calore con distribuzione uniforme della temperatura attraverso la superficie. Ciò diventa importante in molti tipi di processi di produzione di semiconduttori per mantenere la stabilità in condizioni termiche, che si riferiscono direttamente alla resa e alla qualità del prodotto. Inoltre, il carburo di silicio presenta bene la resistenza all'usura e un livello relativamente elevato di durezza, dando così una vita più lunga per la piastra poiché l'usura e la contaminazione della superficie sono ritardati per un uso molto esteso.

L'inerzia chimica è un'altra caratteristica vitale della piastra SIC porosa. Presenta una forte resistenza agli acidi, agli alcali e all'esposizione al plasma, rendendolo adatto per ambienti difficili all'interno della fabbricazione di semiconduttori, come attacco, deposizione e camere di elaborazione chimica. La natura non reattiva di SIC impedisce interazioni chimiche indesiderate, preservando la purezza dei materiali trasformati e migliorando l'affidabilità della produzione.

Inoltre, la natura leggera di SIC poroso, combinata con le sue robuste proprietà meccaniche, facilita la maneggevolezza e l'integrazione in macchinari di precisione. Il basso coefficiente di espansione termica garantisce stabilità dimensionale anche sotto fluttuazioni di temperatura estrema, riducendo al minimo il rischio di deformazione o disallineamento durante il funzionamento.

La piastra SIC porosa può essere personalizzata per soddisfare requisiti specifici dell'applicazione, comprese le variazioni di porosità, spessore e finitura superficiale. Le tecniche di lavorazione e lucidatura avanzate possono essere applicate per ottenere superfici ultra-flat con una rugosità minima, migliorando ulteriormente le sue prestazioni come materiale di mandrino del vuoto.

La piastra in carburo di silicio poroso Semicorex è una componente ceramica altamente specializzata che offre una combinazione di alta resistenza, eccellente stabilità termica e chimica e resistenza all'usura superiore. La sua struttura porosa unica consente un'efficace aspirazione del vuoto, garantendo una manipolazione sicura dei wafer nelle industrie a semiconduttore e di precisione. Di conseguenza, è un materiale essenziale per applicazioni ad alta precisione in cui le prestazioni, la durata e l'affidabilità sono fondamentali.