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Anello di tenuta dell'ingresso MOCVD

Semicorex è un produttore e fornitore su larga scala di grafite rivestita in carburo di silicio in Cina. Il nostro anello di tenuta in ingresso MOCVD ha un buon vantaggio in termini di prezzo e copre molti mercati europei e americani. Non vediamo l'ora di diventare il vostro partner a lungo termine.

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Descrizione del prodotto

L'anello di tenuta dell'ingresso MOCVD con rivestimento in carburo di silicio Semicorex è una grafite rivestita in SiC di elevata purezza, utilizzata nel processo di deposizione e gestione dei wafer. L'anello di tenuta dell'ingresso MOCVD rivestito in SiC ha un'elevata resistenza al calore e alla corrosione, che ha una grande stabilità in ambienti estremi.

In Semicorex, ci concentriamo sulla fornitura di anelli di tenuta per ingresso MOCVD di alta qualità ed economici, diamo priorità alla soddisfazione del cliente e forniamo soluzioni economicamente vantaggiose. Non vediamo l'ora di diventare il vostro partner a lungo termine, offrendo prodotti di alta qualità e un servizio clienti eccezionale.

Parametri dell'anello di tenuta dell'ingresso MOCVD

Specifiche principali del rivestimento CVD-SIC
Proprietà SiC-CVD
Struttura cristallina	Fase β dell'FCC
Densità	g/cm³	3.21
Durezza	Durezza Vickers	2500
Granulometria	µm	2~10
Purezza chimica	%	99.99995
Capacità termica	J kg-1 K-1	640
Temperatura di sublimazione	℃	2700
Forza flessionale	MPa (RT 4 punti)	415
Modulo di Young	Gpa (curvatura 4 punti, 1300 ℃)	430
Dilatazione Termica (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Conduttività termica	(W/mK)	300