Anello di tenuta ingresso MOCVD

Semicorex è un produttore e fornitore su larga scala di grafite rivestita di carburo di silicio in Cina. Il nostro MOCVD Inlet Seal Ring ha un buon vantaggio in termini di prezzo e copre molti dei mercati europei e americani. Non vediamo l'ora di diventare il vostro partner a lungo termine.

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Descrizione del prodotto

L'anello di tenuta di ingresso MOCVD con rivestimento in carburo di silicio Semicorex è una grafite rivestita di SiC di elevata purezza, utilizzata nel processo di deposizione e movimentazione dei wafer. L'anello di tenuta dell'ingresso MOCVD rivestito in SiC ha un'elevata resistenza al calore e alla corrosione, che ha una grande stabilità in ambienti estremi.

In Semicorex, ci concentriamo sulla fornitura di anelli di tenuta di ingresso MOCVD di alta qualità e convenienti, diamo la priorità alla soddisfazione del cliente e forniamo soluzioni convenienti. Non vediamo l'ora di diventare il vostro partner a lungo termine, offrendo prodotti di alta qualità e un servizio clienti eccezionale.

Parametri dell'anello di tenuta dell'ingresso MOCVD

Principali caratteristiche del rivestimento CVD-SIC
Proprietà SiC-CVD
Struttura di cristallo	FCC fase β
Densità	g/cm³	3.21
Durezza	Durezza Vickers	2500
Granulometria	Î¼m	2~10
Purezza chimica	%	99.99995
Capacità termica	J·kg-1 ·K-1	640
Temperatura di sublimazione	℃	2700
Resistenza alla flessione	MPa (RT 4 punti)	415
Modulo di Young	Gpa (curva 4pt, 1300℃)	430
Espansione termica (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Conduttività termica	(W/mK)	300