Barche orizzontali in carburo di silicio

Semicorex orizzontalebarchette in carburo di siliciosono formati integralmente utilizzando la tecnologia di stampa 3D e quindi fabbricati mediante sinterizzazione ad alta temperatura. Realizzati appositamente per adattarsi a forni orizzontali ad alta temperatura di diverse dimensioni, questi componenti sono ampiamente utilizzati per garantire saldamente la ritenzione dei wafer nei processi critici di produzione di semiconduttori ad alta temperatura, tra cui diffusione, ossidazione e deposizione di vapori chimici.

Proprietà fisico-chimiche del carburo di silicio

I vantaggi della barca orizzontale in carburo di silicio Semicorexs

1.Supporto e posizione stabili

La resistenza e la durezza del materiale senza precedenti conferiscono alle imbarcazioni orizzontali in carburo di silicio Semicorex un'eccellente capacità di supporto, che consente loro di trasportare stabilmente più wafer contemporaneamente. Attraverso la lavorazione di precisione delle scanalature, le barchette orizzontali in carburo di silicio Semicorex possono fissare saldamente e trattenere saldamente i wafer semiconduttori. La struttura degli slot equidistanti assicura che i wafer mantengano una posizione fissa durante l'intero ciclo di lavorazione, garantendo così la coerenza e la precisione dei processi di produzione dei semiconduttori.

2.Compatibilità con condizioni operative complesse

Grazie alla loro resistenza superiore alle alte temperature e alla corrosione, le imbarcazioni orizzontali in carburo di silicio Semicorex sono in grado di resistere ad ambienti operativi rigorosi, come atmosfere ad alta temperatura di ossigeno, azoto o acido cloridrico a bassa concentrazione. Queste eccezionali proprietà del materiale possono prevenire efficacemente la corrosione e i danni causati dai gas corrosivi ad alta temperatura, prolungando notevolmente la durata operativa delle imbarcazioni.

3. Prestazioni di pulizia eccezionali

Diversamente dalle convenzionali barchette in grafite rivestite in carburo di silicio, le barchette orizzontali in carburo di silicio Semicorex sono fabbricate da semiconduttori di elevata purezzacarburo di silicio(99,999%) con un contenuto di impurità estremamente basso. Questa selezione di materiali di prima qualità elimina il rischio di degassamento di contaminanti o distacco del rivestimento, anche se esposto ad alte temperature e ambienti corrosivi difficili. Inoltre, ciascuna delle nostre imbarcazioni in carburo di silicio è sottoposta a rigorosi processi di pulizia ad ultrasuoni prima del confezionamento sottovuoto, che garantiscono il rispetto degli standard di pulizia richiesti dai processi avanzati di produzione dei semiconduttori.