Tubo del forno a diffusione

Il tubo del forno a diffusione è generalmente realizzato in quarzo o SiC di elevata purezza, entrambi i quali presentano un'eccezionale stabilità termica e resistenza alle reazioni chimiche. Questo è importante perché il tubo del forno a diffusione non deve introdurre impurità nei materiali semiconduttori in lavorazione. Anche le più piccole impurità possono avere effetti dannosi significativi sulle prestazioni e sull'affidabilità dei dispositivi a semiconduttore fabbricati.

I materiali utilizzati nella costruzione del tubo del forno a diffusione sono scelti per la loro elevata purezza per prevenire la contaminazione dei wafer semiconduttori durante la lavorazione. Il tubo del forno a diffusione resiste alle temperature estreme incontrate durante la lavorazione dei semiconduttori senza deformarsi o comprometterne l'integrità strutturale. Ciò garantisce prestazioni costanti e affidabili per periodi di funzionamento prolungati. Oltre alla stabilità termica, il tubo del forno a diffusione mostra anche resistenza agli effetti corrosivi delle sostanze chimiche e dei gas utilizzati nella lavorazione dei semiconduttori. Ciò impedisce il degrado del tubo nel tempo e ne garantisce la longevità.

Alcuni tubi dei forni a diffusione possono essere dotati di rivestimenti realizzati con materiali specializzati per migliorare ulteriormente le loro prestazioni o fornire una protezione aggiuntiva contro la contaminazione o le reazioni chimiche. Questi rivestimenti sono accuratamente selezionati per integrare le proprietà del materiale del tubo e i requisiti specifici del processo di fabbricazione dei semiconduttori.