Semicorex fornisce ceramica per semiconduttori per i tuoi strumenti di semifabbricazione OEM e componenti per la gestione dei wafer. Da molti anni siamo produttori e fornitori di pellicole di rivestimento in carburo di silicio. Il nostro manicotto per asse in ceramica ha un buon vantaggio di prezzo e copre la maggior parte dei mercati europei e americani. Non vediamo l'ora di diventare il vostro partner a lungo termine in Cina.
Il carburo di silicio (SiC) è una ceramica fine sintetica e semiconduttrice che eccelle in un'ampia sezione di mercati industriali. Il manicotto dell'asse in ceramica Semicorex ha la disponibilità di strutture sia ad alta densità che porose aperte, combinate anche con l'eccezionale resistenza alle alte temperature e agli shock termici del materiale, oltre a proprietà meccaniche intrinsecamente impressionanti. Possiamo elaborare tutti i tipi di manicotti per assi in ceramica in base alle esigenze dei clienti.
Parametri del manicotto dell'asse in ceramica
Proprietà tecniche |
||||
Indice |
Unità |
Valore |
||
Nome del materiale |
Carburo di silicio sinterizzato a reazione |
Carburo di silicio sinterizzato senza pressione |
Carburo di silicio ricristallizzato |
|
Composizione |
RBSiC |
SSiC |
R-SiC |
|
Densità apparente |
g/cm3 |
3 |
3,15 ± 0,03 |
2,60-2,70 |
Resistenza alla flessione |
MPa (kpsi) |
338(49) |
380(55) |
80-90 (20°C) 90-100(1400°C) |
Resistenza alla compressione |
MPa (kpsi) |
1120(158) |
3970(560) |
>600 |
Durezza |
Pulsante |
2700 |
2800 |
/ |
Tenacia di rottura |
MPa·m1/2 |
4.5 |
4 |
/ |
Conducibilità termica |
W/m.k |
95 |
120 |
23 |
Coefficiente di dilatazione termica |
10-6.1/°C |
5 |
4 |
4.7 |
Calore specifico |
Joule/g 0k |
0.8 |
0.67 |
/ |
Temperatura massima nell'aria |
℃ |
1200 |
1500 |
1600 |
Modulo elastico |
GP |
360 |
410 |
240 |
Semicorex ha prodotto manicotti dell'asse in ceramica in tre forme: carburo di silicio sinterizzato Reaction (RBSiC), carburo di silicio sinterizzato senza pressione (SSiC) e carburo di silicio Recrystal (R-SiC).
La differenza tra SSiC e RBSiC:
1. Il processo di sinterizzazione è diverso. L'RBSiC consiste nell'infiltrare il Si libero nel carburo di silicio a bassa temperatura, l'SSiC si forma per ritiro naturale a 2100 gradi.
2. Gli SSiC hanno una superficie più liscia, una densità più elevata e una resistenza più elevata. Per alcune guarnizioni con requisiti superficiali più severi, l'SSiC sarà migliore.
3. Tempo di utilizzo diverso a PH e temperature diversi, SSiC è più lungo di RBSiC
Caratteristiche del manicotto dell'asse in ceramica
- Elevata resistenza (durezza Mohs 9,5, seconda solo al diamante)
- Resistenza alla corrosione da acidi, alcali, sali e solventi organici
- Elevata conduttività termica, resistenza al plasma, lunga durata
- Semiconduttori
Forme disponibili di ceramica al carburo di silicio:
● Asta in ceramica/perno in ceramica/pistone in ceramica
● Tubo in ceramica/boccola in ceramica/manicotto in ceramica
● Anello in ceramica/rondella in ceramica/distanziatore in ceramica
● Disco ceramico
● Piatto in ceramica/blocco in ceramica
● Sfera in ceramica
● Pistone in ceramica
● Ugello in ceramica
● Crogiolo ceramico
● Altre parti in ceramica personalizzate