Barca di wafer in lotti

Semicorex fornisce wafer boat, piedistalli e porta wafer personalizzati per configurazioni verticali/a colonna e orizzontali. Siamo produttori e fornitori di pellicole di rivestimento in carburo di silicio da molti anni. Il nostro Batch Wafer Boat ha un buon vantaggio di prezzo e copre la maggior parte dei mercati europei e americani. Non vediamo l'ora di diventare il vostro partner a lungo termine in Cina.

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Descrizione del prodotto

Semicorex Batch Wafer Boat sono realizzati in materiale ceramico di carburo di silicio di alta qualità per una resistenza chimica e stabilità termica superiori.
La nostra Batch Wafer Boat ha una finitura superficiale liscia e fornisce un eccellente supporto e protezione del wafer durante la lavorazione. Il rivestimento SiC garantisce uniformità e stabilità durante la lavorazione, proteggendo i wafer da contaminazioni e danneggiamenti. Con un'eccellente conduttività termica e una resistenza meccanica superiore, i nostri supporti per wafer forniscono risultati coerenti e affidabili.
Il nostro team di esperti si impegna a fornire la migliore qualità e servizio. Offriamo progetti personalizzati per soddisfare le vostre esigenze specifiche e le nostre barche per wafer batch sono supportate dal nostro programma di garanzia della qualità.

Parametri di Batch Wafer Boat

Proprietà tecniche
Indice	Unità	Valore
Nome materiale		Carburo di silicio sinterizzato a reazione	Carburo di silicio sinterizzato senza pressione	Carburo di silicio ricristallizzato
Composizione		RBSiC	SSic	R-SiC
Densità apparente	g/cm3	3	3,15 ± 0,03	2,60-2,70
Resistenza alla flessione	MPa (kpsi)	338(49)	380(55)	80-90 (20°C)90-100(1400°C)
Resistenza alla compressione	MPa (kpsi)	1120(158)	3970(560)	> 600
Durezza	Knoop	2700	2800	/
Rompere la tenacia	MPa m1/2	4.5	4	/
Conduttività termica	W/m.k	95	120	23
Coefficiente di espansione termica	10^-6.1/°C	5	4	4.7
Calore specifico	Joule/g 0k	0.8	0.67	/
Temperatura massima in aria	℃	1200	1500	1600
Modulo elastico	Gpa	360	410	240

La differenza tra SSiC e RBSiC:

1. Il processo di sinterizzazione è diverso. RBSiC consiste nell'infiltrare Si libero nel carburo di silicio a bassa temperatura, SSiC si forma per restringimento naturale a 2100 gradi.

2. SSiC ha una superficie più liscia, maggiore densità e maggiore resistenza, per alcune guarnizioni con requisiti di superficie più severi, SSiC sarà migliore.

3. Tempo di utilizzo diverso a PH e temperatura diversi, SSiC è più lungo di RBSiC

Caratteristiche di Batch Wafer Boat

- Alta resistenza (durezza Mohs 9.5, seconda solo al diamante)
- Resistenza alla corrosione di acidi, alcali, sali e solventi organici
- Elevata conducibilità termica, resistenza al plasma, lunga durata
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