Barca di wafer in batch

Semicorex fornisce imbarcazioni per wafer, piedistalli e supporti per wafer personalizzati sia per configurazioni verticali/a colonna che orizzontali. Da molti anni siamo produttori e fornitori di pellicole di rivestimento in carburo di silicio. La nostra Batch Wafer Boat ha un buon vantaggio di prezzo e copre la maggior parte dei mercati europei e americani. Non vediamo l'ora di diventare il vostro partner a lungo termine in Cina.

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Descrizione del prodotto

I semicorex batch wafer boat sono realizzati in materiale ceramico di carburo di silicio di alta qualità per resistenza chimica e stabilità termica superiori.
La nostra Batch Wafer Boat ha una finitura superficiale liscia e fornisce un eccellente supporto e protezione dei wafer durante la lavorazione. Il rivestimento SiC garantisce uniformità e stabilità durante la lavorazione, proteggendo i wafer da contaminazioni e danni. Grazie all'eccellente conduttività termica e alla resistenza meccanica superiore, i nostri supporti per wafer forniscono risultati costanti e affidabili.
Il nostro team di esperti si impegna a fornire la migliore qualità e servizio. Offriamo progetti personalizzati per soddisfare le vostre esigenze specifiche e le nostre barche per wafer batch sono supportate dal nostro programma di garanzia della qualità.

Parametri della barca Wafer batch

Proprietà tecniche
Indice	Unità	Valore
Nome del materiale		Reazione al carburo di silicio sinterizzato	Carburo di silicio sinterizzato senza pressione	Carburo di silicio ricristallizzato
Composizione		RBSiC	SSiC	R-SiC
Densità apparente	g/cm3	3	3,15 ± 0,03	2,60-2,70
Resistenza alla flessione	MPa (kpsi)	338(49)	380(55)	80-90 (20°C) 90-100(1400°C)
Resistenza alla compressione	MPa (kpsi)	1120(158)	3970(560)	>600
Durezza	Pulsante	2700	2800	/
Tenacia di rottura	MPa·m1/2	4.5	4	/
Conducibilità termica	W/m.k	95	120	23
Coefficiente di dilatazione termica	10^-6.1/°C	5	4	4.7
Calore specifico	Joule/g 0k	0.8	0.67	/
Temperatura massima nell'aria	℃	1200	1500	1600
Modulo elastico	GP	360	410	240

La differenza tra SSiC e RBSiC:

1. Il processo di sinterizzazione è diverso. L'RBSiC consiste nell'infiltrare il Si libero nel carburo di silicio a bassa temperatura, l'SSiC si forma per ritiro naturale a 2100 gradi.

2. Gli SSiC hanno una superficie più liscia, una densità più elevata e una resistenza più elevata. Per alcune guarnizioni con requisiti superficiali più severi, l'SSiC sarà migliore.

3. Tempo di utilizzo diverso a PH e temperature diversi, SSiC è più lungo di RBSiC

Caratteristiche della barca Wafer batch

- Elevata resistenza (durezza Mohs 9,5, seconda solo al diamante)
- Resistenza alla corrosione da acidi, alcali, sali e solventi organici
- Elevata conduttività termica, resistenza al plasma, lunga durata
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