Deposizione epitassiale di silicio nel reattore a barile

Se avete bisogno di un suscettore in grafite ad alte prestazioni da utilizzare in applicazioni di produzione di semiconduttori, il reattore a deposizione epitassiale in barile di silicio Semicorex è la scelta ideale. Il rivestimento SiC di elevata purezza e l'eccezionale conduttività termica forniscono proprietà di protezione e distribuzione del calore superiori, rendendolo la scelta ideale per prestazioni affidabili e costanti anche negli ambienti più difficili.

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Descrizione del prodotto

La deposizione epitassiale di silicio Semicorex nel reattore a barile è un prodotto ideale per la crescita di strati epissiali su chip wafer. Si tratta di un supporto in grafite rivestita in SiC di elevata purezza, altamente resistente al calore e alla corrosione, che lo rende perfetto per l'uso in ambienti estremi. Questo suscettore a barilotto è adatto per LPE e fornisce eccellenti prestazioni termiche, garantendo l'uniformità del profilo termico. Inoltre, garantisce il miglior modello di flusso di gas laminare e impedisce la diffusione di contaminazione o impurità nel wafer.

Noi di Semicorex ci concentriamo sulla fornitura di prodotti di alta qualità e convenienti ai nostri clienti. Il nostro reattore per la deposizione epitassiale di silicio nel barile presenta un vantaggio in termini di prezzo e viene esportato in molti mercati europei e americani. Puntiamo a essere il vostro partner a lungo termine, offrendo prodotti di qualità costante e un servizio clienti eccezionale.

Parametri della deposizione epitassiale di silicio nel reattore a barile

Specifiche principali del rivestimento CVD-SIC
Proprietà SiC-CVD
Struttura cristallina	Fase β dell'FCC
Densità	g/cm³	3.21
Durezza	Durezza Vickers	2500
Granulometria	µm	2~10
Purezza chimica	%	99.99995
Capacità termica	J kg-1 K-1	640
Temperatura di sublimazione	℃	2700
Forza flessionale	MPa (RT 4 punti)	415
Modulo di Young	Gpa (curvatura 4 punti, 1300 ℃)	430
Dilatazione Termica (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Conduttività termica	(W/mK)	300

Caratteristiche della deposizione epitassiale di silicio nel reattore a barile

- Sia il substrato di grafite che lo strato di carburo di silicio hanno una buona densità e possono svolgere un buon ruolo protettivo in ambienti di lavoro corrosivi e ad alta temperatura.

- Il suscettore rivestito in carburo di silicio utilizzato per la crescita del singolo cristallo ha una planarità superficiale molto elevata.

- Ridurre la differenza nel coefficiente di dilatazione termica tra il substrato di grafite e lo strato di carburo di silicio, migliorare efficacemente la forza di adesione per prevenire fessurazioni e delaminazioni.

- Sia il substrato di grafite che lo strato di carburo di silicio hanno un'elevata conduttività termica ed eccellenti proprietà di distribuzione del calore.

- Alto punto di fusione, resistenza all'ossidazione ad alta temperatura, resistenza alla corrosione.