Semicorex è un produttore e fornitore su larga scala di suscettori per cilindri rivestiti in SiC in Cina. Ci concentriamo sulle industrie dei semiconduttori come strati di carburo di silicio e semiconduttori epitassia. I nostri prodotti hanno un buon vantaggio di prezzo e coprono molti mercati europei e americani. Non vediamo l'ora di diventare il vostro partner a lungo termine.
SemicorexSuscettore cilindrico rivestito in SiCè un supporto in grafite rivestita con SiC di elevata purezza, utilizzato nel processo per far crescere lo strato epitassiale sul chip wafer, che è adatto a molti reattori epitassiali. Ha un'elevata resistenza al calore e alla corrosione, che ha una grande stabilità in ambienti estremi.
NostroRivestito in SiCBarrel Susceptor è anche resistente all'ossidazione e alla corrosione ad alta temperatura, rendendolo un prodotto affidabile e durevole. Il suo elevato punto di fusione garantisce che possa resistere all'ambiente ad alta temperatura richiesto per un'efficiente produzione di semiconduttori.
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Parametri diRivestito in SiCRicevitore a canna
Specifiche principali del rivestimento CVD-SIC |
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Proprietà SiC-CVD |
||
Struttura cristallina |
Fase β dell'FCC |
|
Densità |
g/cm³ |
3.21 |
Durezza |
Durezza Vickers |
2500 |
Granulometria |
µm |
2~10 |
Purezza chimica |
% |
99.99995 |
Capacità termica |
J kg-1 K-1 |
640 |
Temperatura di sublimazione |
℃ |
2700 |
Forza flessionale |
MPa (RT 4 punti) |
415 |
Modulo di Young |
Gpa (curvatura 4 punti, 1300 ℃) |
430 |
Dilatazione Termica (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Conduttività termica |
(W/mK) |
300 |
Caratteristiche diRivestito in SiCRicevitore a canna
- Evitare il distacco e garantire il rivestimento su tutta la superficie
Resistenza all'ossidazione alle alte temperature: Stabile alle alte temperature fino a 1600°C
Elevata purezza: prodotto mediante deposizione chimica di vapore CVD in condizioni di clorazione ad alta temperatura.
Resistenza alla corrosione: elevata durezza, superficie densa e particelle fini.
Resistenza alla corrosione: acidi, alcali, sale e reagenti organici.
- Ottieni il miglior modello di flusso di gas laminare
- Garantire l'uniformità del profilo termico
- Evitare qualsiasi contaminazione o diffusione di impurità