Il suscettore del barilotto del reattore rivestito in carburo Semicorex è un prodotto di grafite di alta qualità rivestito con SiC di elevata purezza, progettato specificamente per i processi LPE. Con un'eccellente resistenza al calore e alla corrosione, questo prodotto è perfetto per l'uso in applicazioni di produzione di semiconduttori.
Se stai cercando un suscettore di grafite ad alte prestazioni per la formazione di strati epitassiali su wafer semiconduttori, il suscettore a cilindro del reattore rivestito in carburo Semicorex è una scelta eccellente. Il suo rivestimento in carburo di silicio offre una distribuzione del calore e una conducibilità termica superiori, garantendo prestazioni eccezionali anche negli ambienti ad alta temperatura più esigenti.
In Semicorex, ci concentriamo sulla fornitura di suscettori per barili di reattore rivestiti in carburo di alta qualità e convenienti, diamo la priorità alla soddisfazione del cliente e forniamo soluzioni convenienti. Non vediamo l'ora di diventare il vostro partner a lungo termine, offrendo prodotti di alta qualità e un servizio clienti eccezionale.
Parametri del suscettore del barilotto del reattore rivestito di carburo
Principali specifiche del rivestimento CVD-SIC |
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Proprietà SiC-CVD |
||
Struttura di cristallo |
FCC fase β |
|
Densità |
g/cm³ |
3.21 |
Durezza |
Durezza Vickers |
2500 |
Granulometria |
μm |
2~10 |
Purezza chimica |
% |
99.99995 |
Capacità termica |
J·kg-1 ·K-1 |
640 |
Temperatura di sublimazione |
℃ |
2700 |
Resistenza alla flessione |
MPa (RT 4 punti) |
415 |
Modulo di Young |
Gpa (curva 4pt, 1300℃) |
430 |
Espansione termica (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Conduttività termica |
(W/mK) |
300 |
Caratteristiche del suscettore del barilotto del reattore rivestito di carburo
- Sia il substrato di grafite che lo strato di carburo di silicio hanno una buona densità e possono svolgere un buon ruolo protettivo in ambienti di lavoro ad alta temperatura e corrosivi.
- Il suscettore rivestito di carburo di silicio utilizzato per la crescita di un singolo cristallo ha una planarità superficiale molto elevata.
- Ridurre la differenza del coefficiente di espansione termica tra il substrato di grafite e lo strato di carburo di silicio, migliorare efficacemente la forza di adesione per prevenire fessurazioni e delaminazione.
- Sia il substrato di grafite che lo strato di carburo di silicio hanno un'elevata conduttività termica ed eccellenti proprietà di distribuzione del calore.
- Alto punto di fusione, resistenza all'ossidazione ad alta temperatura, resistenza alla corrosione.