Cilindro suscettore rivestito in SiC per camera del reattore LPE

Il barilotto del suscettore rivestito in SiC di Semicorex per la camera del reattore LPE è un prodotto di alta qualità, fabbricato secondo i più elevati standard di precisione e durata. Offre un'eccellente conduttività termica, resistenza alla corrosione ed è particolarmente adatto alle applicazioni LPE nella produzione di semiconduttori.

Il nostro suscettore con rivestimento in SiC per la camera del reattore LPE è progettato per ottenere il miglior modello di flusso di gas laminare, garantendo l'uniformità del profilo termico. Questo aiuta a prevenire qualsiasi contaminazione o diffusione di impurità, garantendo una crescita epitassiale di alta qualità sul chip del wafer.

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Parametri del barilotto del suscettore rivestito di SiC per la camera del reattore LPE

Caratteristiche del barilotto del suscettore rivestito di SiC per la camera del reattore LPE

- Sia il substrato di grafite che lo strato di carburo di silicio hanno una buona densità e possono svolgere un buon ruolo protettivo in ambienti di lavoro ad alta temperatura e corrosivi.

- Il suscettore rivestito di carburo di silicio utilizzato per la crescita di un singolo cristallo ha una planarità superficiale molto elevata.

- Ridurre la differenza del coefficiente di espansione termica tra il substrato di grafite e lo strato di carburo di silicio, migliorare efficacemente la forza di adesione per prevenire fessurazioni e delaminazione.

- Sia il substrato di grafite che lo strato di carburo di silicio hanno un'elevata conduttività termica ed eccellenti proprietà di distribuzione del calore.

- Alto punto di fusione, resistenza all'ossidazione ad alta temperatura, resistenza alla corrosione.