Elettrodi curvi al silicio

Durante l'attrezzatura di incisione avanzata, l'elettrodo curvo di silicio è solitamente montato sulla parte superiore della camera di incisione, rivolto verso il wafer semiconduttore. L'elettrodo curvo in silicio funziona tipicamente in combinazione con il mandrino elettrostatico, l'anello di messa a fuoco in Si, l'anello del bordo in Si, l'anello di scarico in Si e l'anello di schermatura in Si per fornire condizioni operative ottimali per un'incisione ad alta precisione.

Funzioni degli elettrodi curvi al silicio Semicorex

1. Compatibile con l'incisione di strutture 3D complesse

Con un'eccezionale capacità di controllo del campo elettrico 3D, Semicorexelettrodi curvi in ​​siliciopossono adattarsi perfettamente alle caratteristiche geometriche di strutture complesse. Lo speciale design curvo consente un controllo preciso del plasma e una distribuzione ottimizzata dell'energia, che influisce in modo significativo sulle proporzioni e sulla verticalità delle pareti laterali dell'incisione della struttura 3D e soddisfa pienamente i requisiti della linea di produzione dei processi di imballaggio avanzati e dell'integrazione di circuiti integrati 3D.

2. Controllo preciso della distribuzione del gas di attacco

Gli elettrodi curvi in ​​silicio Semicorex presentano molteplici microfori distribuiti uniformemente sulla loro superficie per consentire al gas di attacco di entrare nella camera di attacco. Gli elettrodi curvi in ​​silicio Semicorex possono ottenere un controllo preciso sul gas di attacco e consentirne la distribuzione uniforme nella camera di attacco, riducendo così al minimo le variazioni di processo causate dalla distribuzione non uniforme del gas.

Vantaggi degli elettrodi curvi in ​​silicio Semicorex

1. Purezza ultraelevata

Gli elettrodi curvi in ​​silicio Semicorex sono realizzati in monocristallo di altissima purezzasiliciocon un livello di purezza superiore al 99,9999999%, offrendo una resistenza superiore all'erosione del plasma. Questa selezione di materiali di alto livello può efficacemente evitare la contaminazione indesiderata derivante dai sottoprodotti dell'incisione, prolungando allo stesso tempo in modo significativo la durata degli elettrodi curvi in ​​silicio.

2. Eccellenti proprietà elettriche

Realizzati in silicio monocristallino sviluppato da MCZ, gli elettrodi curvi in ​​silicio Semicorex presentano un'eccellente uniformità di resistività: <5% e un ampio intervallo di resistività selezionabile: bassa risoluzione. (<0,02), risoluzione media. (1–4) e alta risoluzione. (70-90).

3. Accuratezza dell'elaborazione di precisione

Attraverso una lavorazione meccanica ad alta precisione, gli elettrodi curvi in ​​silicio Semicorex raggiungono dimensioni dei pori costanti e una distribuzione uniforme dei fori. Le loro superfici sono finemente lucidate e rettificate: lucidate (Ra < 0,1 μm) e rettificate (Ra < 1,6 μm), con una precisione di lavorazione complessiva controllata entro 0,03 mm.