Piastra portante RTP rivestita in SiC per crescita epitassiale

La piastra portante RTP rivestita in SiC Semicorex per crescita epitassiale è la soluzione perfetta per le applicazioni di elaborazione dei wafer a semiconduttore. Con i suoi suscettori di grafite di carbonio di alta qualità e i crogioli di quarzo lavorati da MOCVD sulla superficie di grafite, ceramica, ecc., questo prodotto è ideale per la gestione dei wafer e l'elaborazione della crescita epitassiale. Il supporto rivestito in SiC garantisce un'elevata conduttività termica ed eccellenti proprietà di distribuzione del calore, rendendolo una scelta affidabile per RTA, RTP o pulizia chimica aggressiva.

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Descrizione del prodotto

La nostra piastra portante RTP rivestita in SiC per crescita epitassiale è progettata per resistere alle condizioni più difficili dell'ambiente di deposizione. Grazie alla loro elevata resistenza al calore e alla corrosione, i suscettori epitassiali sono sottoposti all'ambiente di deposizione perfetto per la crescita epitassiale. Il sottile rivestimento in cristalli SiC sul supporto garantisce una superficie liscia e un'elevata resistenza alla pulizia chimica, mentre il materiale è progettato per prevenire crepe e delaminazione.
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Parametri della piastra portante RTP rivestita in SiC per la crescita epitassiale

Specifiche principali del rivestimento CVD-SIC
Proprietà SiC-CVD
Struttura cristallina	Fase β dell'FCC
Densità	g/cm³	3.21
Durezza	Durezza Vickers	2500
Granulometria	µm	2~10
Purezza chimica	%	99.99995
Capacità termica	J kg-1 K-1	640
Temperatura di sublimazione	℃	2700
Forza flessionale	MPa (RT 4 punti)	415
Modulo di Young	Gpa (curvatura 4 punti, 1300 ℃)	430
Dilatazione Termica (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Conduttività termica	(W/mK)	300

Caratteristiche della piastra portante RTP rivestita in SiC per la crescita epitassiale

Grafite rivestita in SiC ad elevata purezza
Resistenza al calore e uniformità termica superiori
Rivestimento in cristallo SiC fine per una superficie liscia
Elevata resistenza alla pulizia chimica
Il materiale è progettato in modo tale che non si verifichino crepe e delaminazioni.

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