Supporto per rivestimento SiC RTP

Semicorex RTP SiC Coating Carrier offre una resistenza al calore e un'uniformità termica superiori, rendendolo la soluzione perfetta per le applicazioni di elaborazione di wafer semiconduttori. Con la sua grafite rivestita di SiC di alta qualità, questo prodotto è progettato per resistere agli ambienti di deposizione più difficili per la crescita epitassiale. L'elevata conduttività termica e le eccellenti proprietà di distribuzione del calore garantiscono prestazioni affidabili per RTA, RTP o pulizia chimica aggressiva.

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Descrizione del prodotto

Il nostro vettore di rivestimento SiC RTP è progettato per resistere alle condizioni più difficili dell'ambiente di deposizione. Con la sua elevata resistenza al calore e alla corrosione, i suscettori epitassiali sono sottoposti all'ambiente di deposizione perfetto per la crescita epitassiale. Il sottile rivestimento in cristallo SiC sul supporto garantisce una superficie liscia e un'elevata durata contro la pulizia chimica, mentre il materiale è progettato per prevenire crepe e delaminazione.
In Semicorex, ci concentriamo sulla fornitura di carrier di rivestimento SiC RTP di alta qualità ed economici, diamo la priorità alla soddisfazione del cliente e forniamo soluzioni convenienti. Non vediamo l'ora di diventare il vostro partner a lungo termine, offrendo prodotti di alta qualità e un servizio clienti eccezionale.
Contattaci oggi per saperne di più sul nostro supporto per rivestimento SiC RTP.

Parametri del vettore di rivestimento SiC RTP

Principali specifiche del rivestimento CVD-SIC
Proprietà SiC-CVD
Struttura di cristallo	FCC fase β
Densità	g/cm³	3.21
Durezza	Durezza Vickers	2500
Granulometria	Î¼m	2~10
Purezza chimica	%	99.99995
Capacità termica	J·kg-1 ·K-1	640
Temperatura di sublimazione	℃	2700
Resistenza alla flessione	MPa (RT 4 punti)	415
Modulo di Young	Gpa (curva 4pt, 1300℃)	430
Espansione termica (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Conduttività termica	(W/mK)	300

Caratteristiche del vettore di rivestimento SiC RTP

Grafite rivestita di SiC di elevata purezza
Resistenza al calore superiore e uniformità termica
Fine rivestimento in cristallo SiC per una superficie liscia
Elevata durabilità contro la pulizia chimica
Il materiale è progettato in modo che non si verifichino crepe e delaminazioni.