Con il suo elevato punto di fusione, resistenza all'ossidazione e resistenza alla corrosione, il suscettore di crescita dei cristalli LPE rivestito di SiC Semicorex è la scelta ideale per l'uso in applicazioni di crescita di cristalli singoli. Il suo rivestimento in carburo di silicio offre eccellenti proprietà di planarità e distribuzione del calore, rendendolo la scelta ideale per ambienti ad alta temperatura.
Il suscettore di crescita dei cristalli LPE con rivestimento in SiC Semicorex è la scelta perfetta per la formazione dello strato epissiale su wafer semiconduttori, grazie alle sue eccezionali proprietà di conducibilità termica e distribuzione del calore. Il suo rivestimento SiC ad alta purezza offre una protezione superiore anche negli ambienti corrosivi e ad alta temperatura più esigenti.
Il nostro suscettore di crescita dei cristalli LPE rivestito in SiC è progettato per ottenere il miglior modello di flusso di gas laminare, garantendo l'uniformità del profilo termico. Questo aiuta a prevenire qualsiasi contaminazione o diffusione di impurità, garantendo una crescita epitassiale di alta qualità sul chip del wafer.
Contattaci oggi per saperne di più sul nostro suscettore di crescita dei cristalli LPE rivestito in SiC.
Parametri del suscettore di crescita dei cristalli LPE rivestito di SiC
Principali caratteristiche del rivestimento CVD-SIC |
||
Proprietà SiC-CVD |
||
Struttura di cristallo |
FCC fase β |
|
Densità |
g/cm³ |
3.21 |
Durezza |
Durezza Vickers |
2500 |
Granulometria |
μm |
2~10 |
Purezza chimica |
% |
99.99995 |
Capacità termica |
J·kg-1 ·K-1 |
640 |
Temperatura di sublimazione |
℃ |
2700 |
Resistenza alla flessione |
MPa (RT 4 punti) |
415 |
Modulo di Young |
Gpa (curva 4pt, 1300℃) |
430 |
Espansione termica (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Conduttività termica |
(W/mK) |
300 |
Caratteristiche del suscettore di crescita dei cristalli LPE rivestito di SiC
- Sia il substrato di grafite che lo strato di carburo di silicio hanno una buona densità e possono svolgere un buon ruolo protettivo in ambienti di lavoro ad alta temperatura e corrosivi.
- Il suscettore rivestito di carburo di silicio utilizzato per la crescita di un singolo cristallo ha una planarità superficiale molto elevata.
- Ridurre la differenza del coefficiente di espansione termica tra il substrato di grafite e lo strato di carburo di silicio, migliorare efficacemente la forza di adesione per prevenire fessurazioni e delaminazione.
- Sia il substrato di grafite che lo strato di carburo di silicio hanno un'elevata conduttività termica ed eccellenti proprietà di distribuzione del calore.
- Alto punto di fusione, resistenza all'ossidazione ad alta temperatura, resistenza alla corrosione.