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Suscettore a barilotto rivestito in SiC

Suscettore a barilotto rivestito in SiC

Grazie all'elevato punto di fusione, alla resistenza all'ossidazione e alla corrosione, il suscettore cilindrico rivestito in SiC Semicorex è la scelta perfetta per l'uso in applicazioni di crescita di cristalli singoli. Il rivestimento in carburo di silicio fornisce eccezionali proprietà di planarità e distribuzione del calore, garantendo prestazioni affidabili e costanti anche negli ambienti ad alta temperatura più esigenti.

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Descrizione del prodotto

Il susceptor barile rivestito in SiC Semicorex è un prodotto in grafite di alta qualità rivestito con SiC di elevata purezza, progettato specificamente per i processi LPE e altre applicazioni di produzione di semiconduttori. La sua eccezionale densità e conduttività termica forniscono una distribuzione del calore e una protezione superiori in ambienti corrosivi e ad alta temperatura.
Noi di Semicorex ci concentriamo sulla fornitura di suscettori per cilindri rivestiti in SiC di alta qualità ed economici, diamo priorità alla soddisfazione del cliente e forniamo soluzioni economicamente vantaggiose. Non vediamo l'ora di diventare il vostro partner a lungo termine, offrendo prodotti di alta qualità e un servizio clienti eccezionale.


Parametri del suscettore a barilotto rivestito in SiC

Specifiche principali del rivestimento CVD-SIC

Proprietà SiC-CVD

Struttura cristallina

Fase β dell'FCC

Densità

g/cm³

3.21

Durezza

Durezza Vickers

2500

Granulometria

µm

2~10

Purezza chimica

%

99.99995

Capacità termica

J kg-1 K-1

640

Temperatura di sublimazione

2700

Forza flessionale

MPa (RT 4 punti)

415

Modulo di Young

Gpa (curvatura 4 punti, 1300 ℃)

430

Dilatazione Termica (C.T.E)

10-6K-1

4.5

Conduttività termica

(W/mK)

300


Caratteristiche del suscettore a barilotto rivestito in SiC

- Sia il substrato di grafite che lo strato di carburo di silicio hanno una buona densità e possono svolgere un buon ruolo protettivo in ambienti di lavoro corrosivi e ad alta temperatura.

- Il suscettore rivestito in carburo di silicio utilizzato per la crescita del singolo cristallo ha una planarità superficiale molto elevata.

- Ridurre la differenza nel coefficiente di dilatazione termica tra il substrato di grafite e lo strato di carburo di silicio, migliorare efficacemente la forza di adesione per prevenire fessurazioni e delaminazioni.

- Sia il substrato di grafite che lo strato di carburo di silicio hanno un'elevata conduttività termica ed eccellenti proprietà di distribuzione del calore.

- Alto punto di fusione, resistenza all'ossidazione ad alta temperatura, resistenza alla corrosione.




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