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Suscettore cilindrico rivestito in SiC per la crescita epitassiale

Suscettore cilindrico rivestito in SiC per la crescita epitassiale

Grazie alla sua densità e conduttività termica superiori, il suscettore cilindrico rivestito in SiC Semicorex per crescita epitassiale è la scelta ideale per l'uso in ambienti corrosivi e ad alta temperatura. Rivestito con SiC di elevata purezza, questo prodotto in grafite offre protezione e distribuzione del calore eccellenti, garantendo prestazioni affidabili e costanti nelle applicazioni di produzione di semiconduttori.

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Descrizione del prodotto

Il suscettore cilindrico rivestito in SiC Semicorex per la crescita epitassiale è la scelta perfetta per la formazione di strati epissiali su wafer semiconduttori, grazie alle sue eccellenti proprietà di conduttività termica e distribuzione del calore. Il rivestimento in carburo di silicio fornisce una protezione superiore anche negli ambienti corrosivi e ad alta temperatura più esigenti.

Noi di Semicorex ci concentriamo sulla fornitura di prodotti di alta qualità e convenienti ai nostri clienti. Il nostro suscettore cilindrico rivestito in SiC per la crescita epitassiale ha un vantaggio in termini di prezzo e viene esportato in molti mercati europei e americani. Puntiamo a essere il vostro partner a lungo termine, offrendo prodotti di qualità costante e un servizio clienti eccezionale.


Parametri del suscettore cilindrico rivestito in SiC per la crescita epitassiale

Specifiche principali del rivestimento CVD-SIC

Proprietà SiC-CVD

Struttura cristallina

Fase β dell'FCC

Densità

g/cm³

3.21

Durezza

Durezza Vickers

2500

Granulometria

µm

2~10

Purezza chimica

%

99.99995

Capacità termica

J kg-1 K-1

640

Temperatura di sublimazione

2700

Forza flessionale

MPa (RT 4 punti)

415

Modulo di Young

Gpa (curvatura 4 punti, 1300 ℃)

430

Dilatazione Termica (C.T.E)

10-6K-1

4.5

Conduttività termica

(W/mK)

300


Caratteristiche del suscettore cilindrico rivestito in SiC per la crescita epitassiale

- Sia il substrato di grafite che lo strato di carburo di silicio hanno una buona densità e possono svolgere un buon ruolo protettivo in ambienti di lavoro corrosivi e ad alta temperatura.

- Il suscettore rivestito in carburo di silicio utilizzato per la crescita del singolo cristallo ha una planarità superficiale molto elevata.

- Ridurre la differenza nel coefficiente di dilatazione termica tra il substrato di grafite e lo strato di carburo di silicio, migliorare efficacemente la forza di adesione per prevenire fessurazioni e delaminazioni.

- Sia il substrato di grafite che lo strato di carburo di silicio hanno un'elevata conduttività termica ed eccellenti proprietà di distribuzione del calore.

- Alto punto di fusione, resistenza all'ossidazione ad alta temperatura, resistenza alla corrosione.




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