L’omepitassia e l’eteroepitassia svolgono un ruolo fondamentale nella scienza dei materiali. L'omepitassia prevede la crescita di uno strato cristallino su un substrato dello stesso materiale, garantendo difetti minimi grazie al perfetto adattamento del reticolo. Al contrario, l'eteroepitassia fa cr......
Per saperne di piùPer soddisfare i requisiti di alta qualità dei processi di circuiti di chip IC con larghezze di linea inferiori a 0,13 μm fino a 28 nm per wafer di lucidatura in silicio da 300 mm di diametro, è essenziale ridurre al minimo la contaminazione da impurità, come gli ioni metallici, sulla superficie del......
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