Suscettori per reattori MOCVD

I suscettori Semicorex per i reattori MOCVD sono prodotti di alta qualità utilizzati nell'industria dei semiconduttori per varie applicazioni come strati di carburo di silicio e semiconduttori epitassici. Il nostro prodotto è disponibile in forma di ingranaggio o anello ed è progettato per ottenere una resistenza all'ossidazione ad alta temperatura, rendendolo stabile a temperature fino a 1600°C.

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Descrizione del prodotto

I nostri suscettori per reattori MOCVD sono realizzati mediante deposizione chimica da vapore CVD in condizioni di clorurazione ad alta temperatura, garantendo un'elevata purezza. La superficie del prodotto è densa, con particelle fini ed elevata durezza, che lo rende resistente alla corrosione da acidi, alcali, sale e reagenti organici.
I nostri suscettori per reattori MOCVD sono progettati per garantire il rivestimento su tutte le superfici, evitando il distacco e ottenendo il miglior schema di flusso laminare del gas. Il prodotto garantisce l'uniformità del profilo termico e impedisce qualsiasi contaminazione o diffusione di impurità durante il processo, garantendo risultati di alta qualità.
In Semicorex, diamo la priorità alla soddisfazione del cliente e forniamo soluzioni convenienti. Non vediamo l'ora di diventare il vostro partner a lungo termine, offrendo prodotti di alta qualità e un servizio clienti eccezionale.

Parametri dei suscettori per i reattori MOCVD

Principali specifiche del rivestimento CVD-SIC
Proprietà SiC-CVD
Struttura di cristallo	FCC fase β
Densità	g/cm³	3.21
Durezza	Durezza Vickers	2500
Granulometria	Î¼m	2~10
Purezza chimica	%	99.99995
Capacità termica	J·kg-1 ·K-1	640
Temperatura di sublimazione	℃	2700
Resistenza alla flessione	MPa (RT 4 punti)	415
Modulo di Young	Gpa (curva 4pt, 1300℃)	430
Espansione termica (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Conduttività termica	(W/mK)	300

Caratteristiche del suscettore in grafite rivestito di SiC per MOCVD

- Evitare di staccarsi e garantire il rivestimento su tutta la superficie
Resistenza all'ossidazione ad alta temperatura: Stabile ad alte temperature fino a 1600°C
Elevata purezza: prodotto mediante deposizione chimica da vapore CVD in condizioni di clorurazione ad alta temperatura.
Resistenza alla corrosione: elevata durezza, superficie densa e particelle fini.
Resistenza alla corrosione: acidi, alcali, sale e reagenti organici.
- Ottieni il miglior modello di flusso di gas laminare
- Garantire l'uniformità del profilo termico
- Prevenire qualsiasi contaminazione o diffusione di impurità