Alette in carburo di silicio solido

Solido semicorexalette in carburo di siliciosono tipicamente installati come componenti di isolamento termico all'interno dei tubi del forno verticale di apparecchiature per il trattamento termico dei semiconduttori, come forni di ricottura RTP e forni a diffusione. Le alette in carburo di silicio solido Semicorex possono regolare efficacemente la distribuzione della temperatura nei forni ad alta temperatura e ridurre al minimo i danni termici alle parti di tenuta delle porte di processo causati dalle alte temperature. In condizioni operative di ossidazione a umido, le alette in carburo di silicio solido Semicorex possono essere utilizzate per prevenire efficacemente gli impatti negativi sui risultati del processo e sui dispositivi a semiconduttore causati dalla condensazione del vapore acqueo a temperature di processo relativamente basse.

I vantaggi delle alette in carburo di silicio solido Semicorex

1. Eccellente resistenza all'usura

CVD SiC presenta una struttura cristallina cubica policristallina, con una durezza eccezionale seconda solo al diamante. A questa proprietà viene attribuita l'eccellente resistenza all'usura delle alette in carburo di silicio solido Semicorex, che le rende in grado di resistere all'abrasione durante la movimentazione e la sostituzione.

2. Capacità di gestione termica superiore

CVD SiC offre un'eccellente resistenza termica e stabilità alle alte temperature, che non si scioglie né si ammorbidisce a temperature fino a circa 2000°C e mantiene la sua stabilità prima della sublimazione a temperature ultra elevate. Grazie a queste caratteristiche termiche superiori, le alette in carburo di silicio solido Semicorex sono particolarmente adatte per le difficili condizioni di trattamento termico dei semiconduttori.

3. Pulizia ultraelevata

CVD-SiCviene prodotto senza additivi di sinterizzazione durante il processo di deposizione. Rispetto al carburo di silicio convenzionale legato per reazione, presenta una purezza molto più elevata, che raggiunge oltre il 99,9995%. Ciò previene efficacemente la contaminazione da impurità metalliche delle alette in carburo di silicio solido Semicorex causata dalle alte temperature negli ambienti di processo, soddisfacendo perfettamente i requisiti di pulizia della produzione avanzata di semiconduttori.

4. Resistenza alla corrosione affidabile

Le alette in carburo di silicio solido Semicorex possono resistere ai gas di processo altamente ossidanti e fortemente acidi utilizzati nei processi di trattamento termico dei semiconduttori, grazie all'eccezionale inerzia chimica del SiC CVD alle alte temperature. Questa affidabile resistenza alla corrosione ne prolunga efficacemente la durata, riducendo i costi di sostituzione dei componenti.

5. Precisione di lavorazione precisa

Per garantire la compatibilità con diversi tubi del forno, Semicorex può personalizzare le alette in carburo di silicio solido in base alle esigenze del cliente in termini di diametro, spessore, dimensione del foro, planarità e tolleranze dimensionali. Questa precisione di lavorazione di alto livello garantisce un funzionamento stabile delle alette nelle apparecchiature e aiuta a ottimizzare l'efficienza complessiva delle applicazioni di trattamento termico dei semiconduttori.