Piastra di incisione in silicio per applicazioni di incisione PSS

La piastra di incisione in silicio di Semicorex per applicazioni di incisione PSS è un supporto in grafite ultrapura e di alta qualità, progettato specificamente per i processi di crescita epitassiale e di gestione dei wafer. Il nostro trasportino può resistere ad ambienti difficili, temperature elevate e pulizia chimica aggressiva. La piastra di incisione in silicio per applicazioni di incisione PSS ha eccellenti proprietà di distribuzione del calore, elevata conduttività termica ed è conveniente. I nostri prodotti sono ampiamente utilizzati in molti mercati europei e americani e non vediamo l'ora di diventare il vostro partner a lungo termine in Cina.

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Descrizione del prodotto

La piastra di incisione al silicio di Semicorex per applicazioni di incisione PSS è progettata per le applicazioni di apparecchiature per epitassia più esigenti. Il nostro supporto in grafite ultrapura può resistere ad ambienti difficili, temperature elevate e pulizia chimica aggressiva. Il supporto rivestito in SiC ha eccellenti proprietà di distribuzione del calore, elevata conduttività termica ed è conveniente.

Parametri della piastra di incisione in silicio per applicazioni di incisione PSS

Specifiche principali del rivestimento CVD-SIC
Proprietà SiC-CVD
Struttura cristallina	Fase β dell'FCC
Densità	g/cm³	3.21
Durezza	Durezza Vickers	2500
Granulometria	µm	2~10
Purezza chimica	%	99.99995
Capacità termica	J kg-1 K-1	640
Temperatura di sublimazione	℃	2700
Forza flessionale	MPa (RT 4 punti)	415
Modulo di Young	Gpa (curvatura 4 punti, 1300 ℃)	430
Dilatazione Termica (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Conduttività termica	(W/mK)	300

Caratteristiche della piastra di incisione in silicio per applicazioni di incisione PSS

- Evitare il distacco e garantire il rivestimento su tutta la superficie

Resistenza all'ossidazione alle alte temperature: Stabile alle alte temperature fino a 1600°C

Elevata purezza: prodotto mediante deposizione chimica di vapore CVD in condizioni di clorazione ad alta temperatura.

Resistenza alla corrosione: elevata durezza, superficie densa e particelle fini.

Resistenza alla corrosione: acidi, alcali, sale e reagenti organici.

- Ottieni il miglior modello di flusso di gas laminare

- Garantire l'uniformità del profilo termico

- Evitare qualsiasi contaminazione o diffusione di impurità

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