Piastra mordenzante in silicone per applicazioni di mordenzatura PSS

La piastra per incisione al silicio di Semicorex per applicazioni di incisione PSS è un supporto di grafite ultrapura di alta qualità, specificamente progettato per la crescita epitassiale e i processi di manipolazione dei wafer. Il nostro trasportatore è in grado di resistere ad ambienti difficili, alte temperature e pulizia chimica dura. La piastra di incisione in silicone per applicazioni di incisione PSS ha eccellenti proprietà di distribuzione del calore, elevata conduttività termica ed è conveniente. I nostri prodotti sono ampiamente utilizzati in molti mercati europei e americani e non vediamo l'ora di diventare il vostro partner a lungo termine in Cina.

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Descrizione del prodotto

La piastra per incisione in silicone di Semicorex per applicazioni di incisione PSS è progettata per le applicazioni di apparecchiature epitassia più esigenti. Il nostro supporto in grafite ultrapura è in grado di resistere ad ambienti difficili, temperature elevate e pulizia chimica dura. Il supporto rivestito in SiC ha eccellenti proprietà di distribuzione del calore, elevata conducibilità termica ed è conveniente.

Parametri della piastra mordenzante in silicone per applicazioni di mordenzatura PSS

Principali caratteristiche del rivestimento CVD-SIC
Proprietà SiC-CVD
Struttura di cristallo	FCC fase β
Densità	g/cm³	3.21
Durezza	Durezza Vickers	2500
Granulometria	Î¼m	2~10
Purezza chimica	%	99.99995
Capacità termica	J·kg-1 ·K-1	640
Temperatura di sublimazione	℃	2700
Resistenza alla flessione	MPa (RT 4 punti)	415
Modulo di Young	Gpa (curva 4pt, 1300℃)	430
Espansione termica (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Conduttività termica	(W/mK)	300

Caratteristiche della piastra mordenzante in silicone per applicazioni di mordenzatura PSS

- Evitare di staccarsi e garantire il rivestimento su tutta la superficie

Resistenza all'ossidazione ad alta temperatura: Stabile ad alte temperature fino a 1600°C

Elevata purezza: prodotto mediante deposizione chimica da vapore CVD in condizioni di clorurazione ad alta temperatura.

Resistenza alla corrosione: elevata durezza, superficie densa e particelle fini.

Resistenza alla corrosione: acidi, alcali, sale e reagenti organici.

- Ottieni il miglior modello di flusso di gas laminare

- Garantire l'uniformità del profilo termico

- Prevenire qualsiasi contaminazione o diffusione di impurità

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