Suscettore SiC per MOCVD

Semicorex è un produttore e fornitore leader di suscettori SiC per MOCVD. Il nostro prodotto è appositamente progettato per soddisfare le esigenze dell'industria dei semiconduttori nella crescita dello strato epitassiale sul chip wafer. Il prodotto viene utilizzato come piastra centrale in MOCVD, con un design a forma di ingranaggio o anello. Ha un'elevata resistenza al calore e alla corrosione, che lo rende ideale per l'uso in ambienti estremi.

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Descrizione del prodotto

Il nostro suscettore SiC per MOCVD è un prodotto di alta qualità che presenta diverse caratteristiche chiave. Garantisce il rivestimento su tutta la superficie, evitando il distacco, e presenta resistenza all'ossidazione alle alte temperature, garantendo stabilità anche a temperature elevate fino a 1600°C. Il prodotto è realizzato con elevata purezza mediante deposizione chimica di vapore CVD in condizioni di clorazione ad alta temperatura. Ha una superficie densa con particelle fini, che lo rende altamente resistente alla corrosione da acidi, alcali, sale e reagenti organici.
Il nostro suscettore SiC per MOCVD è progettato per garantire il miglior modello di flusso di gas laminare, garantendo l'uniformità del profilo termico. Previene qualsiasi contaminazione o diffusione di impurità, garantendo una crescita epitassiale di alta qualità sul chip wafer.

Parametri del suscettore SiC per MOCVD

Specifiche principali del rivestimento CVD-SIC
Proprietà SiC-CVD
Struttura cristallina	Fase β dell'FCC
Densità	g/cm³	3.21
Durezza	Durezza Vickers	2500
Granulometria	µm	2~10
Purezza chimica	%	99.99995
Capacità termica	J kg-1 K-1	640
Temperatura di sublimazione	℃	2700
Forza flessionale	MPa (RT 4 punti)	415
Modulo di Young	Gpa (curvatura 4 punti, 1300 ℃)	430
Dilatazione Termica (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Conduttività termica	(W/mK)	300

Caratteristiche del suscettore SiC per MOCVD

- Evitare il distacco e garantire il rivestimento su tutta la superficie
Resistenza all'ossidazione alle alte temperature: Stabile alle alte temperature fino a 1600°C
Elevata purezza: prodotto mediante deposizione chimica di vapore CVD in condizioni di clorazione ad alta temperatura.
Resistenza alla corrosione: elevata durezza, superficie densa e particelle fini.
Resistenza alla corrosione: acidi, alcali, sale e reagenti organici.
- Ottieni il miglior modello di flusso di gas laminare
- Garantire l'uniformità del profilo termico
- Evitare qualsiasi contaminazione o diffusione di impurità