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Cosa sono i suscettori in grafite rivestiti in SiC?

Il vassoio (base) che supporta i wafer SiC, noto anche come "suscettore", è un componente fondamentale delle apparecchiature di produzione di semiconduttori. E cos'è esattamente questo suscettore che trasporta i wafer?

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Cos'è il forno a diffusione?

Un forno a diffusione è un'apparecchiatura specializzata utilizzata per introdurre impurità nei wafer semiconduttori in modo controllato. Queste impurità, chiamate droganti, modificano le proprietà elettriche dei semiconduttori, consentendo la realizzazione di diversi tipi di componenti elettronici.......

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Cosa sono le pagaie a sbalzo?

Le wafer boat, caricate con un lotto di wafer da lavorare, sono posizionate su lunghe pale a sbalzo.

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Qual è il processo di produzione della grafite isostatica?

Il processo di produzione della grafite isostatica consiste nella selezione delle materie prime, nella miscelazione, nello stampaggio, nella pressatura isostatica, nella carbonizzazione, nella grafitizzazione.

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Cos'è la grafite isostatica?

La grafite isostatica è un tipo di grafite a grana ultrafine. Viene utilizzato per applicazioni in cui le proprietà meccaniche di altre grafiti a grana fine sono inadeguate.

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Epitassia SiC

Esistono due tipi di epitassia: omogenea ed eterogenea. Per produrre dispositivi SiC con resistenza specifica e altri parametri per diverse applicazioni, il substrato deve soddisfare le condizioni di epitassia prima che la produzione possa iniziare. La qualità dell'epitassia influisce sulle prestazi......

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