MOCVD Planet Susceptor per semiconduttori

Semicorex è un nome di fiducia nel settore dei semiconduttori, che fornisce MOCVD Planet Susceptor for Semiconductor di alta qualità. Il nostro prodotto è progettato per soddisfare le esigenze specifiche dei produttori di semiconduttori alla ricerca di un supporto in grado di offrire prestazioni, stabilità e durata eccellenti. Contattaci oggi per saperne di più sul nostro prodotto e su come possiamo aiutarti con le tue esigenze di produzione di semiconduttori.

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Descrizione del prodotto

Il nostro MOCVD Planet Susceptor for Semiconductor presenta una resistenza all'ossidazione ad alta temperatura, garantendone la stabilità a temperature elevate fino a 1600°C. È anche altamente puro, prodotto mediante deposizione chimica da vapore CVD in condizioni di clorurazione ad alta temperatura, garantendo l'uniformità e la consistenza del prodotto, anche il profilo termico e lo schema di flusso laminare del gas.
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Parametri di MOCVD Planet Susceptor per Semiconductor

Principali specifiche del rivestimento CVD-SIC
Proprietà SiC-CVD
Struttura di cristallo	FCC fase β
Densità	g/cm³	3.21
Durezza	Durezza Vickers	2500
Granulometria	Î¼m	2~10
Purezza chimica	%	99.99995
Capacità termica	J·kg-1 ·K-1	640
Temperatura di sublimazione	℃	2700
Resistenza alla flessione	MPa (RT 4 punti)	415
Modulo di Young	Gpa (curva 4pt, 1300℃)	430
Espansione termica (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Conduttività termica	(W/mK)	300

Caratteristiche del suscettore in grafite rivestito di SiC per MOCVD

- Evitare di staccarsi e garantire il rivestimento su tutta la superficie
Resistenza all'ossidazione ad alta temperatura: Stabile ad alte temperature fino a 1600°C
Elevata purezza: prodotto mediante deposizione chimica da vapore CVD in condizioni di clorurazione ad alta temperatura.
Resistenza alla corrosione: elevata durezza, superficie densa e particelle fini.
Resistenza alla corrosione: acidi, alcali, sale e reagenti organici.
- Ottieni il miglior modello di flusso di gas laminare
- Garantire l'uniformità del profilo termico
- Prevenire qualsiasi contaminazione o diffusione di impurità