MOCVD Planet Suscettore per semiconduttori

Semicorex è un nome affidabile nel settore dei semiconduttori e fornisce suscettori planetari MOCVD di alta qualità per semiconduttori. Il nostro prodotto è progettato per soddisfare le esigenze specifiche dei produttori di semiconduttori alla ricerca di un supporto in grado di offrire prestazioni, stabilità e durata eccellenti. Contattaci oggi per saperne di più sul nostro prodotto e su come possiamo aiutarti con le tue esigenze di produzione di semiconduttori.

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Descrizione del prodotto

Il nostro MOCVD Planet Susceptor per semiconduttori presenta resistenza all'ossidazione alle alte temperature, garantendo la sua stabilità a temperature elevate fino a 1600°C. È inoltre altamente puro, prodotto mediante deposizione chimica di vapore CVD in condizioni di clorazione ad alta temperatura, garantendo l'uniformità e la consistenza del prodotto, anche il profilo termico e il modello di flusso del gas laminare.
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Parametri del suscettore planetario MOCVD per semiconduttori

Specifiche principali del rivestimento CVD-SIC
Proprietà SiC-CVD
Struttura cristallina	Fase β dell'FCC
Densità	g/cm³	3.21
Durezza	Durezza Vickers	2500
Granulometria	µm	2~10
Purezza chimica	%	99.99995
Capacità termica	J kg-1 K-1	640
Temperatura di sublimazione	℃	2700
Forza flessionale	MPa (RT 4 punti)	415
Modulo di Young	Gpa (curvatura 4 punti, 1300 ℃)	430
Dilatazione Termica (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Conduttività termica	(W/mK)	300

Caratteristiche del suscettore in grafite rivestito in SiC per MOCVD

- Evitare il distacco e garantire il rivestimento su tutta la superficie
Resistenza all'ossidazione alle alte temperature: Stabile alle alte temperature fino a 1600°C
Elevata purezza: prodotto mediante deposizione chimica di vapore CVD in condizioni di clorazione ad alta temperatura.
Resistenza alla corrosione: elevata durezza, superficie densa e particelle fini.
Resistenza alla corrosione: acidi, alcali, sale e reagenti organici.
- Ottieni il miglior modello di flusso di gas laminare
- Garantire l'uniformità del profilo termico
- Evitare qualsiasi contaminazione o diffusione di impurità