Anello di messa a fuoco in carburo di silicio solido

L'anello di messa a fuoco in carburo di silicio solido Semicorex è un componente fondamentale nella produzione di semiconduttori, posizionato strategicamente all'esterno del wafer per mantenere il contatto diretto. Utilizzando una tensione applicata, questo anello focalizza il plasma che lo attraversa, migliorando così l'uniformità del processo sul wafer. Costruito esclusivamente con carburo di silicio a deposizione chimica in fase vapore (CVD SiC), questo anello di messa a fuoco incarna le qualità eccezionali richieste dall'industria dei semiconduttori. Noi di Semicorex ci dedichiamo alla produzione e alla fornitura di anelli di messa a fuoco in carburo di silicio solido ad alte prestazioni che fondono la qualità con l'efficienza dei costi.

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Descrizione del prodotto

Nella fabbricazione dei semiconduttori, l'anello di focalizzazione in carburo di silicio solido Semicorex svolge un ruolo cruciale agendo come uno scudo, preservando l'integrità del wafer durante il processo di incisione. Il suo design meticolosamente progettato garantisce un'incisione precisa e uniforme, facilitando così la produzione di elementi semiconduttori altamente complessi che presentano prestazioni e affidabilità superiori.

Il carburo di silicio è il materiale scelto per l'anello di focalizzazione grazie alla sua resistenza superiore alla corrosione del plasma quando esposto al plasma all'interno della camera di reazione sotto vuoto. L'anello di messa a fuoco in carburo di silicio solido supera le prestazioni del silicio tradizionale sotto diversi aspetti, tra cui:

(1) Alta densità che riduce al minimo la velocità di incisione.

(2) Band gap superiore ed eccellenti proprietà di isolamento.

(3) Eccezionale conduttività termica, basso coefficiente di dilatazione termica e resistenza agli shock termici.

(4) Elevata elasticità abbinata ad un'eccellente resistenza agli urti meccanici.

(5) Eccezionale durezza, resistenza all'usura e resistenza alla corrosione.

La conduttività del carburo di silicio e la resistenza all'attacco ionico sono simili a quelle del silicio, rendendo l'anello di focalizzazione in carburo di silicio solido un materiale ideale per questa applicazione.

L'anello di messa a fuoco in carburo di silicio solido Semicorex rappresenta una soluzione all'avanguardia nel campo della produzione di semiconduttori. Sfrutta le proprietà uniche del SiC CVD per facilitare processi di incisione affidabili e ad alte prestazioni, contribuendo in modo significativo al progresso della tecnologia dei semiconduttori.