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Supporto per incisione ICP in carburo di silicio

Supporto per incisione ICP in carburo di silicio

Cerchi un supporto wafer affidabile per i processi di incisione? Non cercare oltre il supporto per incisione ICP in carburo di silicio di Semicorex. Il nostro prodotto è progettato per resistere alle alte temperature e alla pulizia chimica aggressiva, garantendo durata e longevità. Con una superficie pulita e liscia, il nostro supporto è perfetto per la movimentazione di wafer incontaminati.

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Descrizione del prodotto

Garantisci modelli di flusso di gas laminare ottimali e uniformità del profilo termico con il supporto di incisione ICP in carburo di silicio di Semicorex. Il nostro prodotto è progettato per ottenere i migliori risultati possibili per i processi di deposizione di film sottili e di gestione dei wafer. Con una resistenza superiore al calore e alla corrosione, il nostro supporto è la scelta perfetta per le applicazioni più impegnative.

Noi di Semicorex ci concentriamo sulla fornitura di prodotti di alta qualità e convenienti ai nostri clienti. Il nostro supporto per incisione ICP in carburo di silicio ha un vantaggio in termini di prezzo e viene esportato in molti mercati europei e americani. Puntiamo a essere il vostro partner a lungo termine, offrendo prodotti di qualità costante e un servizio clienti eccezionale.

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Parametri del supporto di incisione ICP in carburo di silicio

Specifiche principali del rivestimento CVD-SIC

Proprietà SiC-CVD

Struttura cristallina

Fase β dell'FCC

Densità

g/cm³

3.21

Durezza

Durezza Vickers

2500

Granulometria

µm

2~10

Purezza chimica

%

99.99995

Capacità termica

J kg-1 K-1

640

Temperatura di sublimazione

2700

Forza flessionale

MPa (RT 4 punti)

415

Modulo di Young

Gpa (curvatura 4 punti, 1300 ℃)

430

Dilatazione Termica (C.T.E)

10-6K-1

4.5

Conduttività termica

(W/mK)

300


Caratteristiche del supporto per incisione ICP in carburo di silicio

- Evitare il distacco e garantire il rivestimento su tutta la superficie

Resistenza all'ossidazione alle alte temperature: Stabile alle alte temperature fino a 1600°C

Elevata purezza: prodotto mediante deposizione chimica di vapore CVD in condizioni di clorazione ad alta temperatura.

Resistenza alla corrosione: elevata durezza, superficie densa e particelle fini.

Resistenza alla corrosione: acidi, alcali, sale e reagenti organici.

- Ottieni il miglior modello di flusso di gas laminare

- Garantire l'uniformità del profilo termico

- Evitare qualsiasi contaminazione o diffusione di impurità





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