Serbatoio di stoccaggio liquido in quarzo

Il serbatoio di stoccaggio liquido in quarzo Semicorex è un contenitore appositamente costruito per applicazioni di pulizia a umido a semiconduttore in cui la movimentazione del liquido richiede uno straordinario livello di pulizia e stabilità dei materiali. In primo luogo, questo serbatoio viene utilizzato per raccogliere rifiuti o liquidi residui dalle applicazioni di pulizia dei wafer. È prezioso per la produttività del processo e il controllo della contaminazione. Durante un processo pulito a umido, il risciacquo del wafer a semiconduttore comporta grandi volumi di acqua ultrapura o reagenti chimici che diventano liquidi di scarto alla fine del risciacquo. Inoltre, il liquido residuo dopo il risciacquo deve essere raccolto perché ha potenziali impurità di traccia o preziosi componenti chimici che non devono scendere nello scarico. Il liquido di scarto deve anche essere raccolto quando vengono eseguiti passaggi di rivestimento come applicazioni fotoresist, in cui devono essere raccolti residui extra o sostanze chimiche di rifiuti. Pertanto, il serbatoio di stoccaggio del liquido al quarzo ha i risultati perfetti per fornire elevata purezza, compatibilità chimica e proprietà a basso contenuto di contaminanti.

Il serbatoio è realizzato in quarzo fuso ad alta purezza che è molto resistente agli acidi forti, agli alcali e ai solventi regolarmente utilizzati nella pulizia dei semiconduttori e nella litografia. Che si tratti di un contenitore convenzionale, il quarzo offre ai pezzi materiale liquido la migliore possibilità di non esposizione di contaminanti secondari, lisciviazione o esposizione a ioni indesiderati. Uno degli aspetti principali del serbatoio di stoccaggio liquido al quarzo è la capacità di supportare flussi di lavoro analitici nei FAB a semiconduttore, poiché i liquidi residui raccolti in una nave al quarzo possono essere utilizzati in processi a valle come il rilevamento dell'impurità, l'analisi della contaminazione e il riciclaggio chimico. Inerente alle proprietà del quarzo, può contenere tranquillamente fluidi residui e consentire una valutazione visiva senza rischi di interazione data la sua inerzia e trasparenza, oltre alla sua stabilità termica, che consente a qualsiasi fluido nel serbatoio di essere lievemente accelerato a qualsiasi temperatura di processo senza rischio di degradare o influire sul fluido. Detto questo, il serbatoio di stoccaggio del liquido al quarzo è progettato sia per la raccolta dei rifiuti che per lo stoccaggio a breve termine prima che vengano trasferiti o trattati.

Ogni dettaglio del controllo della contaminazione del processo è importante, in particolare quando i nodi di produzione di dispositivi avanzati si restringono e i parametri di pulizia diventano più rigorosi. Il serbatoio di deposito liquido in quarzo garantisce che gli operatori FAB sono certi che la gestione dei rifiuti non diventa una fonte di contaminazione secondaria. Contenendo soluzioni di pulizia residua o liquidi di processo in eccesso, impedisce che i flussi di lavoro a monte e a valle vengano effettuati validamente. Inoltre, il serbatoio supporta gli obiettivi di sostenibilità di Fab, poiché i liquidi raccolti possono essere elaborati per la purificazione e il riutilizzo del reagente, utilizzando quindi un altro processo meno ad alta intensità di sostanze chimiche e con conseguente minore carico ambientale.

Da un punto di vista pratico, la progettazione del serbatoio di stoccaggio del liquido in quarzo consente di essere facilmente incorporato nei sistemi hardware e di gestione chimica della pulizia a umido. Il fattore di forma può essere adattato alle configurazioni degli strumenti esistenti. I metodi di fabbricazione di precisione assicurano le dimensioni rotonde e che la superficie interna liscia trasporterà e conserverà facilmente tutti i liquidi nel tuo ambiente FAB a semiconduttore. Una struttura al quarzo non porosa impedirà l'assorbimento dei contaminanti e consentirà la pulizia del serbatoio, rendendolo in grado di riutilizzare, a differenza dei contenitori di plastica convenzionali che operano in ambienti a controllo chimico a operazioni di volume significative.

La linea di fondo, il serbatoio di stoccaggio del liquido al quarzo è appositamente progettato per importanza in tutte le applicazioni di pulizia e rivestimento a umido a semiconduttore. Creando la migliore purezza del materiale possibile, la resistenza chimica e la conservazione dei liquidi senza contaminazione in una struttura operativa a semiconduttore, i FAB sono in grado di controllare efficacemente il loro processo con poca o nessuna estensione della contaminazione. Se un FAB sta usando il serbatoio per ricevere la raccolta di rifiuti diretti, per il recupero di un reagente, ecc. O per l'analisi di impurità, la storia dei passaggi critici nel processo rimane nello stato originale senza compromettere il funzionamento. Quando stai cercando di massimizzare la resa, minimizzare il rischio per il processo di lavoro alla perdita di stabilità e massimizzare l'efficienza della gestione chimica dei sottoprodotti, il quarzo senza contaminazione è l'unica scelta che offre prestazioni affidabili con tutta la pulizia a umido.