Gli anelli di messa a fuoco durevoli Semicorex per la lavorazione dei semiconduttori sono progettati per resistere agli ambienti estremi delle camere di incisione al plasma utilizzate nella lavorazione dei semiconduttori. I nostri anelli di messa a fuoco sono realizzati in grafite di elevata purezza rivestita con un rivestimento in carburo di silicio (SiC) denso e resistente all'usura. Il rivestimento SiC ha elevate proprietà di resistenza alla corrosione e al calore, nonché un'eccellente conduttività termica. Applichiamo SiC in strati sottili sulla grafite utilizzando il processo di deposizione chimica da vapore (CVD) per migliorare la durata dei nostri anelli di messa a fuoco.
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