Semicorex RTP/RTA SiC Coating Carrier è progettato per resistere alle condizioni più difficili dell'ambiente di deposizione. Con la sua elevata resistenza al calore e alla corrosione, questo prodotto è progettato per fornire prestazioni ottimali per la crescita epitassiale. Il supporto rivestito in SiC ha un'elevata conduttività termica ed eccellenti proprietà di distribuzione del calore, garantendo prestazioni affidabili per RTA, RTP o pulizia chimica aggressiva.
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