Riscaldatori compositi PBN

I riscaldatori compositi Pbn Semicorex uniscono l'eccellente conduttività termica della grafite pirolitica con l'inertezza chimica e l'isolamento elettrico del nitruro di boro pirolitico. Questi riscaldatori sono costruiti da una grafite e PBN molto elevata che viene applicata utilizzando un processo CVD di alta qualità (deposizione di vapore chimico) in condizioni di deposizione ad alta purezza. Ogni singolo livello di realizzazione è stato depositato con una controllabilità molto estrema per garantire purezza ultra-alta e proprietà termiche coerenti. Il nucleo di grafite, che fornisce riscaldamento rapido e uniforme in tutto, è protetto dall'ossidazione e dalla contaminazione dalla capsula PBN; Ciò rende il riscaldatore ideale per ambienti di gas a vuoto e ambienti di gas inerti. Questi riscaldatori PBN sono progettati intenzionalmente per l'uso in reattori MBE (Epitassia del fascio molecolare), reattori CVD e altri sistemi di crescita dei cristalli.

Il riscaldatore composito di nitruro pirolitico a nitruro di nitruro-pirolitico (PBN-PG) è un riscaldatore che utilizza PBN ad alta isolamento come substrato e utilizza la deposizione di vapori chimici di decomposizione termica a bassa pressione (CVD) a bassa pressione (sotto 10torr) e alta temperatura per ricoprire la PG conduttiva. I componenti principali di questo riscaldatore composito sono il nitruro di boro pirolitico (PBN) e la grafite pirolitica (PG). Grazie alla sua eccellente resistenza alla corrosione e alla resistenza ad alta temperatura, viene utilizzato principalmente per il riscaldamento del substrato a semiconduttore (utilizzato in MBE, MOCVD, rivestimento sputtering, ecc.); Riscaldamento del substrato superconduttore; riscaldamento del campione durante l'analisi del campione; riscaldamento del campione al microscopio elettronico; riscaldamento in metallo; fonte di riscaldamento dell'evaporazione in metallo, ecc.

I riscaldatori PBN possono resistere a temperature operative fino a 1600 ° C di vuoto e avere una migliore capacità di resistere a shock termico su qualsiasi alternativa a base di metallo su cui faresti affidamento. La superficie del riscaldatore è estremamente liscia e densa e produce significativamente meno particelle durante il funzionamento, che è fondamentale per le applicazioni in cui la contaminazione non può essere tollerata come l'elaborazione del wafer di semiconduttore.

La struttura composita fornisce un'eccellente uniformità termica attraverso la superficie del riscaldatore e i suoi percorsi resistivi possono essere personalizzati per consentire una distribuzione del calore su misura. Questo design consente rapidi cicli di aumento e di recupero durante la lavorazione senza crack e delaminanti a causa degli stessi coefficienti di espansione termica dei materiali usati. Gli elettrodi sono in grado di resistere al funzionamento continuo ad alta corrente e sono anche compatibili nel vuoto.

Semicorex fornisce flessibilità di progettazione illimitata per forme, dimensioni e requisiti di alimentazione unici, quando necessario, per soddisfare le esigenze di applicazione specifiche; Che si tratti di dimensioni di wafer standard o di geometrie più complesse, garantiamo l'accuratezza dimensionale e l'uniformità termica in ogni unità prodotta.

I riscaldatori compositi PBN sono perfetti per applicazioni ultra-pulite, tra cui:

• Sistemi MBE per elaborazione dei semiconduttori composti II-V e II-VI
• Sistemi di rivestimento a vuoto per componenti ottici
• Sistemi di crescita cristallina per zaffiro e sic
• Elaborazione termica di alta purezza per ambienti di laboratorio di ricerca e sviluppo.