La produzione di semiconduttori, pietra angolare del moderno progresso tecnologico, è alla costante ricerca di circuiti integrati più piccoli, più veloci e più efficienti. Questa ricerca incessante determina la necessità di processi di produzione sempre più precisi e sofisticati, in cui ogni passagg......
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Per saperne di piùLo sviluppo del 3C-SiC, un importante politipo di carburo di silicio, riflette il continuo progresso della scienza dei materiali semiconduttori. Negli anni '80 Nishino et al. ha ottenuto per la prima volta una pellicola 3C-SiC spessa 4 μm su un substrato di silicio utilizzando la deposizione chimica......
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