Braccio robot di allumina

Il braccio robot di allumina Semicorex è una parte ceramica ad alte prestazioni progettata per la gestione e il trasferimento di wafer in produzione di semiconduttori. Realizzato in ceramica di allumina di alta purezza (Al₂o₃), questo braccio robotico offre flessibilità, precisione, affidabilità e durata nelle camere pulite.

Ciò che si distingue a favore del braccio del robot allumina sono le proprietà diCeramica di alluminaresistenza meccanica e durezza. COMEAluminaè reso più puro, l'allumina mantiene una migliore integrità strutturale e la rende più resistente all'usura e alla deformazione meccanica. Come materiale, l'allumina è un'ottima scelta per le parti robotiche che vengono utilizzate in attività delicate e ripetitive di gestione del wafer, ovvero quando un braccio robot deve svolgere la stessa funzione e entrare in contatto con i wafer, che una minore distorsione applicata al wafer dal braccio robot può costare una perdita di resa delle strutture. L'elevata durezza, cioè le superfici rigide, può aiutare con la resistenza abrasiva e la vita funzionale, cioè estendendo la vita e la durata del servizio/ sostituzione su un componente robotico.

Oltre alla sua durata meccanica, il braccio del robot allumina è anche un eccellente isolante elettrico. La resistività è fino a 10¹⁵ ω · cm e la resistenza all'isolamento è fino a 15 kV/mm a temperatura ambiente, fornendo un ambiente molto più sicuro per funzionare, soprattutto quando gli interferenti segnali elettrici devono essere ridotti nelle apparecchiature di elaborazione. Ciò diventa importante quando si proteggono i componenti semiconduttori sensibili che trasferiscono tra processi con rischio minimo di danno da scarico elettrostatico (ESD).

La ceramica di allumina è eccellente nel mantenere la stabilità a temperature molto elevate. Il punto di fusione è di circa 2050 ° C e resisterà a temperature elevate nell'elaborazione termica a semiconduttore senza deformazione o precisione dimensionale. L'elevata resistenza al calore consente di utilizzare il braccio in processi come la rapida ricottura termica (RTA) o la deposizione di vapore chimica (CVD), dove l'allineamento di precisione e la stabilità termica sono fondamentali.

Uno degli altri benefici significativi del braccio del robot allumina è la sua inerzia. La sua superficie è inerte alla maggior parte degli agenti di pulizia e ai gas di processo utilizzati nella produzione di semiconduttori. Pertanto, rimarrà privo di contaminazione e non contribuirà alla contaminazione della superficie del wafer. Questa inerzia chimica è la chiave per raggiungere le condizioni di produzione ultra-pulita e fornire prestazioni coerenti del dispositivo.

Ceramica di alluminaè anche un'opzione conveniente per gli strumenti a semiconduttore. È prontamente disponibile come materia prima e i processi di lavorazione della ceramica di allumina sono ben compresi e facilmente scalabili. Ciò consente di produrre tolleranze riproducibili e coerenti per le parti di alta qualità a un prezzo competitivo. Il mix di prestazioni e convenienza rendono il braccio robot di allumina ideale per i fab OEM e semiconduttori in cui sono necessari componenti di automazione affidabili che non rompono la banca.

In sintesi, il braccio del robot allumina offre elevate prestazioni meccaniche, elevate prestazioni dielettriche, elevata resistenza termica, alte prestazioni chimiche, il tutto con comprovata produzione a un prezzo economico. Collettivamente, queste caratteristiche delle prestazioni lo rendono affidabile ed efficiente per le applicazioni di gestione dei wafer di precisione nella produzione di semiconduttori, consentendo una resa migliorata, riducendo potenzialmente il rischio di contaminazione e migliorando l'efficacia generale delle attrezzature.