Effettore di fine ceramica di allumina

L'effettore della fine della ceramica di semicorex allumina è uno strumento essenziale nei sistemi di trasferimento di wafer automatizzati, che offre resistenza meccanica senza pari, stabilità termica e resistenza chimica. Fabbricato utilizzando alta purezzaCeramica di allumina (al₂o₃), questo effettore finale è progettato per soddisfare le rigorose esigenze degli ambienti di elaborazione dei wafer, in cui la precisione, la pulizia e la durata sono fondamentali.

I bracci robot a semiconduttore sono una delle parti importanti dell'attrezzatura a semiconduttore. Di solito sono composti da controller, conducenti, armi ed effettori finali. Sono caratterizzati da alta pulizia, alta stabilità, alta precisione, alta efficienza e alta affidabilità. I robot a semiconduttore sono utilizzati principalmente nel processo front-end di produzione di semiconduttori per trasportare, trasportare e posizionare wafer a semiconduttore.

La struttura ceramica con contenuti di allumina in genere maggiore del 99,5% fornirà durezza e resistenza all'usura superiori per movimenti ripetuti in ambienti ad alta precisione senza degrado nel tempo. L'elevata conduttività termica e la bassa espansione termica dell'allumina consentono la stabilità dimensionale in ambienti con temperatura elevata, una necessità nella maggior parte delle operazioni di camera pulita nei semiconduttori, come in un incidente, depositore, ispezione o strumento di pulizia.

ILCeramica di alluminaL'effettore finale ha una notevole finitura caratteristica superficiale che è liscia e ha una bassa porosità, rendendolo vicino a particelle zero e minimizzazione o effetto zero sui contaminanti durante la gestione dei wafer. Inoltre, l'allumina è chimicamente inerte. Ciò significa che non reagirà con nessuno dei gas di processo e i liquidi di processo con cui il wafer è in contatto. Ciò protegge il wafer e qualsiasi contaminazione a se stessa e attrezzatura da tutto ciò che può causare corrosione.

Sono generalmente usati come effettori finali, o un meccanismo di serraggio, per bracci robotici o moduli di trasferimento in attrezzature e attrezzature di fabbricazione del wafer come un incidente o uno strumento di deposizione, ispezione o strumento di pulizia con slot precisi, scanalature o canali di vuoto che catturano la dimensione del wafer effettiva se si tratta di 100 mm, 200 mm o 300 mm e trasferenze per la sostituzione. Gli effettori finali in genere gestiranno la velocità dei trasferimenti di wafer a 25 cm/secondo.

Esistono opzioni di personalizzazione lungo le linee progettate per interfacce di apparecchiature specifiche o dimensioni del wafer. La rigidità strutturale di allumina consente profili sottili e leggeri che minimizzino la massa complessiva del sistema di manipolazione e portano a tempi di risposta più rapidi. Alcune configurazioni possono anche aggiungere componenti antistatici o isolanti per fornire ulteriore protezione ai substrati elettronici sensibili.

Nel complesso, l'effettore finale della ceramica di allumina fornisce una soluzione efficace che promuove una migliore resa e una ridotta contaminazione, in cui l'affidabilità operativa è elementi chiave per la linea di elaborazione del wafer. Con la sua durata e le caratteristiche delle prestazioni fisiche, l'effettore in ceramica di allumina efficace ed economica si distingue come una scelta popolare tra i produttori di apparecchiature a semiconduttore e i Fab che richiedono rigorosi standard di produzione in un ambiente ultra-pulito.