Suscettore con griglia

Il susceptor Semicorex con griglia è un componente specializzato utilizzato nel processo di crescita epitassiale dei wafer semiconduttori. Questa apparecchiatura critica è progettata per trasportare e supportare i wafer durante la deposizione di materiali in un sistema MOCVD (Metal-Organic Chemical Vapor Deposition). Il suscettore con griglia svolge un ruolo fondamentale nel garantire una crescita uniforme e controllata degli strati epitassiali sul wafer semiconduttore.

Il Suscettore con Griglia è costruito con materiali ottimizzati per la sua funzione. In questo caso, è realizzato in grafite rivestita MOCVD SiC (Metal-Organic Chemical Vapor Deposition Silicon Carbide). Questa scelta di materiali offre numerosi vantaggi, tra cui resistenza alle alte temperature, stabilità chimica ed eccellente conduttività termica. Il rivestimento SiC sulla grafite migliora la durabilità e la resistenza del suscettore alle dure condizioni incontrate durante il processo di crescita epitassiale.

La struttura Susceptor with Grid funge da meccanismo di supporto per i wafer semiconduttori. È progettato strategicamente per mantenere i wafer saldamente in posizione consentendo al contempo un flusso efficiente di gas e una deposizione uniforme dei materiali. Lo schema a griglia aiuta a distribuire il calore e i reagenti in modo uniforme sulla superficie del wafer, contribuendo al controllo preciso dello spessore e della composizione dello strato epitassiale.

Il susceptor Semicorex con griglia è un componente critico nel processo di produzione di dispositivi semiconduttori avanzati. La sua struttura robusta e il design specializzato lo rendono uno strumento essenziale per ottenere una crescita epitassiale di alta qualità, garantendo la produzione di semiconduttori con prestazioni e affidabilità superiori.