Modulo epitassiale SIC

Il modulo epitassiale SIC Semicorex, realizzato in grafite con rivestimento premium, è parte dell'attrezzatura epitassiale che viene sviluppata per resistere agli elementi più difficili dei processi di epitassia in carburo di silicio (SIC). Questo modulo, pensato per ad alta temperatura nelle applicazioni di deposizione di vapore chimico (CVD), è un componente importante per dimostrare stabilità e supporto ai wafer durante la crescita epitassiale di SIC di alta qualità. Il modulo SIC Semicorex è un materiale di base efficace per una produzione affidabile e ripetibile di materiale epitassiale coerente con le specifiche SIC di qualità.

Il modulo SIC Semicorex è un substrato di grafite coperto da uno strato denso e uniforme di placcatura in carburo di silicio ed è resistente alla contaminazione delle particelle e alla corrosione anche nelle sostanze chimiche di processo più gravi. Il rivestimento SIC proibisce la contaminazione e l'erosione della grafite sottostante e fornisce un sostanziale supporto meccanico e protezione fino a 1600 ° C. Il modulo SIC combina la resistenza e la lavorabilità della grafite con l'usura generale, la corrosione e le proprietà resistenti chimiche del carburo di silicio, rendendolo il modulo più adatto in termini di durata in un'atmosfera epitassiale dura.

Il modulo è progettato per fornire un profilo termico uniforme minimizzando il cambiamento dimensionale durante il processo di ciclismo termico. Questa uniformità termica e stabilità sono essenziali per mantenere la piattalità del wafer e l'uniformità dell'epitassia. Se il wafer mantiene una posizione stabile con alta conducibilità termica, le condizioni termiche attraverso il wafer durante la lavorazione saranno uniformi, il che influisce positivamente sulla resa, sulla qualità dei cristalli e i tempi di inattività relativi al fallimento o alla contaminazione della parte.

Il modulo epitassiale SIC è compatibile con diversi reattori epitassiali tra cui la parete calda e la parete fredda e ha la possibilità di essere personalizzato per modellare e dimensioni per soddisfare i layout e le esigenze dei clienti specifici del reattore. Il modulo epitassiale SIC è adatto, ma non limitato a, da 4 pollici, da 6 pollici ed emergenti applicazioni SIC epitaxy da 8 pollici. A causa dell'elevata purezza e della geometria ottimizzata del modulo epitassiale SIC, l'interferenza fisica è ridotta al minimo nel suo impatto sulla dinamica del flusso di gas e sui gradienti termici che supportano una crescita più controllata dello strato epitassiale.

I moduli epitassiali SIC di Semicorex rappresentano il pezzo di altissima qualità controllato nell'assemblaggio eccentrico. Oltre ai protocolli di controllo di alta qualità, Semicorex utilizza i più recenti metodi di rivestimento per applicare film SIC uniformi, densi e bassi. Semicorex ha una lunga storia di rivestimenti in ceramica ad alte prestazioni e lavorazione della grafite che identifica i vantaggi che offrono la migliore vita possibile, coerenza e stabilità del processo da batch a batch.

Nel campo in rapida evoluzione dei dispositivi di alimentazione SIC, in cui la qualità del materiale influisce direttamente sulle prestazioni del dispositivo, il modulo epitassiale non è solo un consumibile, ma è un fattore abilitatore critico. Il modulo epitassiale di grafite con rivestimento SIC di Semicorex offre una soluzione robusta e affidabile per i clienti che cercano di spingere i limiti di efficienza, resa e efficacia in termini di costi nell'epitassia SIC.