Suscettori planetari rivestiti in SiC

I suscettori planetari rivestiti in SiC Semicorex sono componenti di supporto indispensabili progettati per la crescita epitassiale dei semiconduttori nelle apparecchiature Aixtron G2, in cui sono in grado di supportare in modo sicuro i wafer e ruotare secondo un movimento planetario. In questo modo, è possibile ottenere con successo la precisa uniformità termica e la distribuzione uniforme del gas sulla superficie del wafer, il che si traduce in una deposizione di strati epitassiali di alta qualità sui wafer.

Vantaggi dei suscettori planetari rivestiti in SiC Semicorex

1. Design tascabile multi-wafer

Rivestito in SiC Semicorexsuscettori planetaripresentano una distribuzione uniforme di diverse tasche per wafer con dimensioni controllate con precisione. Queste tasche del wafer sono in grado di trattenere saldamente i substrati del wafer durante il processo di crescita epitassiale, il che può ridurre al minimo efficacemente le variazioni del processo epitassiale causate dal movimento indesiderato dei substrati del wafer. Inoltre, questo design con tasca multi-wafer consente a più substrati di wafer di essere sottoposti simultaneamente alla deposizione epitassiale in un unico ciclo di processo, migliorando notevolmente l'efficienza complessiva del processo di crescita epitassiale.

2. Disposizione ottimizzata dei fori per il flusso del gas

Semicorex incorpora al suo interno una serie di canali di flusso del gas accuratamente progettatiRivestito in SiCsuscettori planetari, che perfezionano l'ottimizzazione della dinamica del flusso di gas e dell'uniformità termica sulla superficie del wafer durante tutto il processo epitassiale. Questo design accurato consente un controllo accurato della portata e della distribuzione del gas all'interno della camera di reazione, che è essenziale per ottenere film sottili di alta qualità, spessore dello strato uniforme e prestazioni complessive affidabili del dispositivo.

3. Pulizia ultraelevata

I suscettori planetari rivestiti in SiC Semicorex sono realizzati con materiali di altissima purezza e livelli di impurità estremamente bassi, soddisfacendo pienamente i severi requisiti di pulizia della fabbricazione dei semiconduttori. Riducono efficacemente al minimo la contaminazione dei wafer causata dal degassamento metallico, anche in condizioni corrosive e ad alta temperatura tipiche dei processi epitassiali.

4. Durata di servizio di lunga durata

Il controllo di qualità di Semicorex inizia con la nostra rigorosa selezione delle materie prime. I suscettori planetari rivestiti in SiC sono realizzati con precisione in grafite e carburo di silicio di grado semiconduttore, offrendo un'eccellente resistenza alle alte temperature e alla corrosione, rendendoli perfettamente in grado di resistere alle difficili condizioni operative epitassiali ad alta temperatura e altamente corrosive. Con queste eccellenti proprietà del materiale, i suscettori planetari rivestiti in SiC Semicorex possono mantenere prestazioni costanti e integrità strutturale ed evitare danni superficiali e calo delle prestazioni nelle camere di reazione ad alta temperatura e alta corrosione, prolungando così notevolmente la durata di servizio dei suscettori planetari rivestiti in SiC.