I wafer boat Semicorex CVD rivestiti in SiC sono strumenti di trasporto in ceramica ad alta precisione realizzati in carburo di silicio di altissima purezza, caratterizzati da elevata affidabilità, eccellente pulizia e durata prolungata. Fungendo da soluzione ideale per la lavorazione termica dei wafer, le imbarcazioni per wafer rivestite in SiC Semicorex CVD possono ottenere un posizionamento sicuro e stabile dei wafer durante le fasi di trasferimento e lavorazione.
Semicorex CVD SiC Fin è un componente solido in carburo di silicio spesso e ad alta densità prodotto mediante deposizione chimica in fase vapore, progettato per applicazioni di semiconduttori rivolte al plasma e ad altissima temperatura che richiedono purezza, durata e resistenza alla corrosione eccezionali. Semicorex fornisce componenti avanzati in carburo di silicio CVD ai produttori di apparecchiature per semiconduttori in tutto il mondo, fornendo soluzioni personalizzate, ingegneria di precisione e consegna globale affidabile per gli ambienti di processo più esigenti.*
La piastra di distribuzione del gas Semicorex SiC è un soffione in grafite rivestito in SiC CVD di precisione progettato per fornire una distribuzione uniforme del gas, una resistenza superiore alla corrosione e il controllo della contaminazione nei sistemi epitassia a semiconduttori ad alta temperatura. Semicorex fornisce componenti avanzati in grafite rivestita in SiC ai produttori di semiconduttori di tutto il mondo, offrendo design personalizzati, materiali di altissima purezza e consegne globali affidabili per piattaforme di elaborazione wafer da 8 pollici, 12 pollici e di prossima generazione.*
Realizzati con ceramica di carburo di silicio di alta qualità, i tubi degli scambiatori di calore Semicorex SiC sono progettati per la conduzione e lo scambio di calore ad alta efficienza. Con eccellente conduttività termica, resistenza alle alte temperature, resistenza alla corrosione e resistenza meccanica, i tubi degli scambiatori di calore Semicorex SiC sono le parti centrali indispensabili applicate nello scambiatore di calore a fascio tubiero.
I tubi di scambio di calore Semicorex SiC sono componenti tubolari ad alte prestazioni realizzati in ceramica di carburo di silicio, che fungono da parti principali degli scambiatori di calore a fascio tubiero. Sfruttando le eccellenti proprietà della ceramica al carburo di silicio, i tubi di scambio termico Semicorex SiC sono adatti per gli ambienti più esigenti, tra cui alta temperatura, alta pressione, forte corrosione chimica, impatto di gas ad alta velocità e usura delle particelle.
I cuscinetti a sfere in ceramica Semicorex SiC sono cuscinetti in ceramica ad alte prestazioni, con sfere in ceramica e piste dei cuscinetti realizzate con precisione in ceramica di carburo di silicio. I cuscinetti a sfere in ceramica Semicorex SiC sono la scelta ideale per applicazioni che richiedono un'elevata velocità di rotazione e prestazioni affidabili in ambienti difficili ad alta temperatura e altamente corrosivi.
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