Suscitatore planetario

Semicorex Planetary Susceptor è un componente indispensabile per i reattori epitassia a semiconduttore, specificamente progettato per l'attrezzatura Aixtron G5+. Costruito con grafite di alta purezza erivestito con carburo di silicio (sic), questo suscettore garantisce una stabilità termica superiore, una resistenza chimica eccezionale e prestazioni senza pari in ambienti ad alta temperatura.

Il reattore Aixtron G5+ Epitaxy si erge come un punto di riferimento nel settore per i processi di crescita dei semiconduttori GAN, SIC e altri composti. Il suscettore planetario è fondamentale nell'ottimizzazione del flusso di gas, garantendo una rotazione del wafer precisa, mantenendo un controllo esatto della temperatura e raggiungendo la deposizione uniforme degli strati epitassiali. Il suo design innovativo migliora significativamente la ripetibilità del processo, rendendolo la scelta ideale per gli ambienti di produzione ad alto volume.

Caratteristiche chiave  

- Composizione dei materiali avanzati: realizzato con grafite di alta purezza con un rivestimento SIC, fornendo una maggiore durata e resistenza a condizioni di processo dure.  

- Prestazioni termiche ottimizzate: garantisce una distribuzione uniforme del calore, critica per la crescita dello strato epitassiale ad alta precisione.  

- Resistenza chimica: il rivestimento SIC impedisce l'ossidazione della grafite, estendendo la durata della vita del suscettore e mantenendo la purezza del processo.  

- Ingegneria di precisione: progettato per soddisfare i requisiti rigorosi dei sistemi Aixtron G5+, garantendo l'integrazione senza soluzione di continuità e l'efficienza ottimale del reattore.  

- Alta uniformità della superficie: minimizza la contaminazione delle particelle, supportando una qualità del wafer superiore e una resa più elevata nella produzione di semiconduttori.  

Vantaggi del nostro suscettore planetario  

- Vita di servizio estesa: ilRivestimento sicRiduce in modo significativo l'usura, con conseguente minore frequenza di sostituzione e costi operativi ridotti.  

- Migliore stabilità del processo: garantisce un riscaldamento costante e gradienti termici minimi, portando a una produzione di wafer di alta qualità.  

- Compatibilità e personalizzazione: disponibili in progetti standard e personalizzati per soddisfare specifici requisiti di processo Aixtron G5+.  

GrafiteLe parti svolgono un ruolo indispensabile e molto importante nel processo di semiconduttore. La qualità dei materiali di grafite ha un grande impatto sulla qualità dei prodotti finiti. La nostra coerenza in batch di grafite e omogeneità del materiale possono essere controllate e garantite attraverso il processo di produzione.

1. Piccolo produzione di lotti, il forno di carbonizzazione utilizza solo una piccola fornace con solo 50 metri cubi

2. Ogni pezzo di materiale viene monitorato e monitorato

3. Monitoraggio della temperatura multi-punto nello spazio del forno per garantire che la differenza di temperatura sia mantenuta in un intervallo molto piccolo

4. Monitoraggio della temperatura multi-punto sul materiale per garantire che la differenza di temperatura sia mantenuta in un intervallo molto piccolo

Semicorex Planetary Susceptor è la soluzione premium per i reattori Aixtron G5+, che offre eccezionale stabilità termica, resistenza chimica e prestazioni di precisione. Ingegnerizzato per i processi di produzione di semiconduttori più impegnativi, guida rendimenti di wafer più elevati, minimizza il rischio di contaminazione e estende la durata della vita delle attrezzature. Aggiorna il tuo sistema epitaxy con un suscettore di alto livello per risultati senza pari.