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Cassette Wafer PFA
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Cassette Wafer PFA

Le cassette del wafer PFA Semicorex sono vettori di alta purezza progettati per garantire una gestione sicura e senza contaminazione dei wafer a semiconduttore durante la lavorazione, lo stoccaggio e il trasporto a umido. La scelta di semicorex garantisce non solo una qualità del materiale PFA superiore, ma anche ingegneria di precisione che offre affidabilità, pulizia e prestazioni a lungo termine in ambienti di fabbricazione avanzati.*

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Descrizione del prodotto

Le cassette del wafer PFA Semicorex sono vettori ingegnerizzati progettati per gestire, immagazzinare e trasferire in sicurezza i wafer a semiconduttore in applicazioni avanzate di fabbricazione. Queste cassette sono costruite con polimero di perfluoroalchossixy (PFA) ad alta purezza e presentano la resistenza chimica, la stabilità termica e la durata meccanica necessarie nelle applicazioni di pulizia a umido, lavorazione chimica e trasporto di wafer. I wafer rimangono protetti da contaminazione, danno meccanico e attacco chimico nelle fasi di trasporto del wafer critico nel processo di produzione dei semiconduttori.


L'uso di PFA come materiale primario per queste cassette di wafer è un cambiamento significativo dai tradizionali vettori di polimeri. La PFA ha una resistenza superiore a molti acidi aggressivi, basi e solventi comuni nelle fasi di pulizia del processo a umido (cioè pulizia RCA, SC1, SC2) tipicamente associati alla fabbricazione di semiconduttori. L'inertezza chimica di PFA garantisce che i wafer non saranno esposti a perdite di contaminazione dal vettore stesso, quindi i difetti non derivano dalla mancanza di integrità del processo. Inoltre, essere in grado di resistere a temperature elevate consente alle cassette di supportare i processi che coinvolgono bagni chimici caldi o risciacquo ad acqua ad ultrapure caldi con prestazioni stabili e affidabili.



Cassette Wafer PFAsono progettati con superfici lisce di precisione che non sono anche non porose per ridurre al minimo l'adesione alle particelle e consentire la pulizia. Le cassette di wafer raggiungono alti livelli di pulizia ai Fab di oggi in cui anche la contaminazione da sub-micron può comportare una perdita di resa o un guasto del dispositivo. Il tipo di contorni interni morbidi riducono i graffi delle delicate superfici del wafer e consentire il drenaggio ordinato dei liquidi dopo l'elaborazione a umido per impedire a una sospensione di residui chimici di rimanere o toccare i wafer, aumentando la consistenza del processo e una ridotta necessità di pulizia di una seconda volta.


Un ulteriore grande vantaggio delle cassette del wafer PFA è l'accuratezza dimensionale e la stabilità strutturale. Il processo di fabbricazione della cassetta richiede tolleranze più strette di quanto non sia normalmente previsto, il che consente alla cassetta di contenere saldamente i wafer in modo tale che non vi siano mutevoli mutevoli o contatti indesiderati dei wafer durante il trasferimento. Le cassette sono positive o featureally coerenti se si tratta di maneggevolezza manuale o durante i sistemi di trasporto di wafer automatizzati. Le cassette del wafer PFA si conformeranno con precisione ai breakout fisici standard associati ai sistemi di gestione e trasporto del wafer standard del settore. L'affidabilità del servizio lunga e utile associata alle cassette del wafer PFA aumenta il valore degli investimenti in quanto la PFA può resistere al riutilizzo dopo ripetute esposizioni chimiche, cicliche termicamente e meccaniche.


Le cassette del wafer PFA sono beni preziosi non solo nella lavorazione chimica a umido per proteggere i wafer ma per lo stoccaggio e il trasporto. Sono costruiti con materiali inerti per mantenere puliti i wafer durante il processo di raffreddamento e la loro durata dovrebbe limitare la rottura e i chip di bordo da imballaggi e trasporto. Le cassette del wafer PFA sono importanti per i FAB a semiconduttore e per i laboratori di ricerca, la produzione fotovoltaica e altre industrie che necessitano di una manipolazione di wafer ad alta purezza.


Cassette Wafer PFAPortare anche sostenibilità e costi per uso favorevoli. I materiali da costruzione sono resilienti per l'attacco chimico e facili da pulire in modo che siano riutilizzabili, abbassando gli sprechi e monouso e incoraggiano un uso ripetuto per ridurre le spese operative a lungo termine. Notando la rottura comune di un wafer in caso di contaminazione, la riduzione degli eventi di contaminazione e la perdita del wafer aumenteranno la resa e diminuirà la difettittività. La perdita di resa e l'aumento della difettittività della tela sono i principali fattori in ontologia sulla competitività di un'operazione di produzione di semiconduttori.


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