Riscaldatore PBN

Il riscaldatore PBN di Nitruro di boro pirolitico Semicorex è un componente di riscaldamento ad alta purezza e ad alte prestazioni progettato per applicazioni esigenti in cui sono essenziali materiali ultra-puliti, chimicamente stabili ed termicamente efficienti. Prodotto attraverso un processo di deposizione di vapore chimico (CVD), PBN presenta un'eccezionale conducibilità termica, resistenza ad alta temperatura e eccezionale inerzia chimica, rendendolo la scelta ideale per la lavorazione dei semiconduttori, la crescita dei cristalli e le applicazioni del vuoto.

Il riscaldatore PBN è un riscaldatore che utilizza PBN altamente isolante come substrato e utilizza la deposizione di vapore chimico di decomposizione termica a bassa pressione (CVD) per ricoprire PG conduttivo a bassa pressione (sotto 10Torr) e alta temperatura. I componenti principali di questo riscaldatore composito sono il nitruro di boro pirolitico (PBN) e la grafite pirolitica (PG). Grazie alla sua eccellente resistenza alla corrosione e alla resistenza ad alta temperatura, viene utilizzato principalmente per il riscaldamento del substrato a semiconduttore (utilizzato in MBE, MOCVD, rivestimento sputtering, ecc.); Riscaldamento del substrato superconduttore; riscaldamento del campione durante l'analisi del campione; riscaldamento del campione al microscopio elettronico; riscaldamento in metallo; fonte di riscaldamento dell'evaporazione in metallo, ecc.

PBN è inerte ai gas corrosivi; ha un'alta purezza (maggiore del 99,99%); non bagna o reagisce con la maggior parte dei metalli fusi (ha le caratteristiche di una padella antiaderente e il metallo può essere usato al 100%); ha una buona resistenza ad alta temperatura (la massima temperatura operativa è 2000 ℃); buona densità; Una buona resistenza agli shock termici e altre eccellenti proprietà lo rendono un materiale ideale per preparare riscaldatori compositi PBN-PG. La PG può essere riscaldata rapidamente a 1600 ℃ (in un'atmosfera inerte e sotto vuoto) in un riscaldatore PBN. Allo stesso tempo, combinato con la buona conduttività termica di PBN, la superficie di riscaldamento ha una buona uniformità del calore. Con il rapido sviluppo delle industrie correlate, anche la domanda di riscaldatori compositi PBN-PG è aumentata rapidamente.

I riscaldatori PBN possono essere fabbricati in una varietà di forme e configurazioni per soddisfare requisiti specifici di progettazione e integrazione. I design tipici includono riscaldatori planari, riscaldatori tubolari e geometrie personalizzate con elementi di riscaldamento incorporati o montati sulla superficie. Gli elementi di riscaldamento sono generalmente realizzati in grafite pirolitica (PG) e incapsulati in PBN, fornendo una struttura completamente sigillata, isolante elettricamente ed efficiente.